[发明专利]多阵列超声波探头设备及其制造方法和装置

说明书

本申请要求于2012年3月14日在韩国知识产权局提交的第10-2012-0026098号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的整个公开通过引用全部包含于此。

技术领域

与示例性实施例一致的设备和方法涉及一种可以通过使块(tile)沿相同的方向排列在相同的基准面来提供稳定的超声波束的多阵列超声波探头设备。

背景技术

诊断超声波系统是这样一种设备：该设备可以从目标对象的体表朝着体内的期望部位辐射超声波束，并且可以利用被反射的超声波束获得软组织的断面或血流的影像。

诊断超声波系统可以包括超声波探头设备，超声波探头设备可以通过将超声波束发射到目标对象并接收由目标对象反射的超声波束来获得超声波数据。

这里，超声波探头设备可以通过在沿着与超声波探头设备接触的目标对象移动的同时发射和接收超声波束来获得关于目标对象的超声波数据。

发明内容

根据示例性实施例的一方面，提供了一种多阵列超声波探头设备，所述多阵列超声波探头设备包括：n个块，形成为针对目标对象发射和接收超声波束；基底，包括n个引导部分，所述n个块分别安装在所述n个引导部分上以按多阵列的形式排列。这里，n指自然数。

基底还可以包括位于所述n个引导部分下面的n个粘附部分，n个粘附部分可以包括将所述n个块结合到基底的粘附材料。

基底还可以包括：n个出口，形成为将在将所述n个块安装在所述n个引导部分上时设置在所述n个粘附部分上的使所述n个块可以与之接触的粘附材料的多余的粘附物排到外部。

所述n个引导部分的宽度可以比所述n个粘附部分的宽度宽。

所述n个引导部分均可以具有相同的高度，所述n个粘附部分均可以具有相同的高度。

所述n个引导部分可以按矩阵的形式设置在基底上，从而使所述n个引导部分分离预定的间隙，所述n个粘附部分可以按矩阵的形式设置在基底上，从而使所述n个粘附部分分离预定的间隙。

所述n个引导部分的宽度可以比所述n个块的宽度宽预定的大小。

所述n个块中的每个块可以包括专用集成电路(ASIC)和附于ASIC的上部的电容式微超声波传感器(CMUT)。

基底可以由硅、玻璃和聚合物类材料中的一种形成。

根据示例性实施例的另一总的方面，提供了一种制造多阵列超声波探头设备的方法，所述方法包括下述步骤：提供包括n个引导部分的基底；通过分别将形成为发射和接收超声波束的n个块安装在所述n个引导部分上使所述n个块按多阵列的形式排列。这里，n指自然数。

根据示例性实施例的又一方面，提供了一种装置，所述装置包括：块的阵列，排列在基底上，以发射和接收超声波束；安装部分，彼此分离地设置在基底上以使块附于基底，每个安装部分包括均使相应的块排列在基底上的引导部分。每个安装部分包括：第一侧，从基底的表面相对于基底的所述表面基本垂直地延伸；突出部，在距离基底的所述表面的第一高度处从第一侧相对于第一侧基本垂直地延伸，并且各相应的块安装在突出部上。

根据示例性实施例中的一个或多个，通过将块安装成在相同的方向上按相同的基准面排列在基底上，多阵列超声波探头设备可以获得更为精确的超声波数据，从而控制用来发射和接收将要在块处被发射和接收的超声波束的方向和时间。

根据示例性实施例中的一个或多个，利用包括将要在其上安装块的引导部分(以矩阵的形式设置使得引导部分分离预定的间隙)的基底，多阵列超声波探头设备可以容易地将块排列成多阵列的形式。

根据示例性实施例中的一个或多个，利用通过半导体工艺技术在其上形成引导部分和粘附部分的基底，多阵列超声波探头设备可以将引导部分和粘附部分的误差容限减小到数微米(μm)的范围内，从而使将要安装在引导部分上且将要与粘附部分接触的块一致地排列。

根据示例性实施例中的一个或多个，利用通过基于预先形成的基底(例如，硅基底)的压印技术由聚合物类材料形成的基底，可以以相对低的成本或在相对短的时间段内制造出多阵列超声波探头设备。

根据示例性实施例中的一个或多个，多阵列超声波探头设备可以包括在基底上位于各粘附部分的一侧上的出口，并且可以提供用来在设置在粘附部分中的使块可与之接触的粘附材料受到将要安装在引导部分上的块的挤压时将粘附材料排放到外部的路径，从而防止对块的损坏。

附图说明

通过参照附图描述特定的示例性实施例，上述和/或其它方面将变得更加清楚，在附图中：