[发明专利]阻气基板有效
| 申请号： | 201310077893.5 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN103579256B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 詹立雄;林怀正;王志诚 | 申请（专利权）人： | 元太科技工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B17/06 | 分类号： | B32B17/06;H01L27/12;H01J11/34;H01J17/16;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阻气基板 | ||
1.一种阻气基板，其特征在于包括：
可挠性基材，具有上表面；
至少第一无机阻气层，配置于该可挠性基材上，且覆盖该上表面；以及
至少第二无机阻气层，配置于该第一无机阻气层上，且覆盖该第一无机阻气层，其中该第二无机阻气层的水氧穿透速率低于该第一无机阻气层的水氧穿透速率。
2.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的可挠性基材包括塑料基材或薄化玻璃基材。
3.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的材质包括氮化硅或氧化硅。
4.如权利要求3所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的材质与该第二无机阻气层的材质相同。
5.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的厚度大于该第二无机阻气层的厚度。
6.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第二无机阻气层的致密度高于该第一无机阻气层的致密度。
7.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的应力值小于该第二无机阻气层的应力值。
8.如权利要求7所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的应力值介于-100MPa至200MPa之间。
9.如权利要求7所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第二无机阻气层的应力值介于-300MPa至-700MPa之间。
10.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第一无机阻气层的水氧穿透速率介于0.1g/m2/day至1g/m2/day之间。
11.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于其中所述的第二无机阻气层的水氧穿透速率介于0.1g/m2/day至0.01g/m2/day之间。
12.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于更包括：
黏着层，配置于该第二无机阻气层上，且覆盖该第二无机阻气层。
13.如权利要求1所述的阻气基板，其特征在于至少第一无机阻气层为多个第一无机阻气层，而所述第一无机阻气层与该第二无机阻气层交替堆叠于该可挠性基材上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于元太科技工业股份有限公司，未经元太科技工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310077893.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高压肖特基二极管
- 下一篇：ESD保护
