[发明专利]阻气基板

说明书

技术领域

本发明是有关于一种阻气基板，特别是有关于一种良好阻气能力的阻气基板。

背景技术

显示器是否具备可挠性，取决于其所使用的基板材质。当显示器所使用的基板为硬质基板（rigid substrate）时，例如玻璃基板，显示器不具有可挠性。反之，显示器所使用的基板为可挠性基板（flexible substrate）时，例如塑料基板，显示器即具有良好的可挠性。

可挠性基板相较于一般硬质基板的优点为便宜、透明、易加工、符合安全性、适合所有显示介质并适合Roll-to-Roll工艺，但其缺点为不耐高温、阻水阻氧气性差、耐化学药品性差及热膨胀系数大。典型的可挠性基板对水的穿透速率为100-10^-1g/m²/day（25°C），其因无法完全阻隔水气及氧气的穿透，进而加速基板内的元件老化，导致所制成的元件寿命减短，无法符合商业上的需求。因此，为了阻隔水氧，在可挠性基板和无机导电层之间涂覆致密的特殊材料，以防止水氧的渗透及扩散，此致密阻隔材料的选取需使其在涂覆过程中能无缺陷地（defect-free）均匀成膜、不会产生针孔（pinholes）、高透光性及避免对可见光的吸收，并以单层或多层堆叠的方式来达成可挠性基板对于阻气的需求。

目前做在可挠性基板上的柔软阻气膜包括有机膜与无机膜，无机膜例如金属氧化物（metal oxide）、金属氮化物（metal nitride）、金属氮氧化物（metal oxynitride）等，其中无机膜的阻气性较有机膜佳，而有机膜可以保持整体阻气层的柔软度。然而，若为了增加阻隔水氧的特性而增加无机膜的厚度，过厚的无机膜容易于挠曲时出现裂缝（crack），因此如何避免因应力集中所造成阻气膜失效的问题就相形重要。

由此可见，上述现有的可挠性基板在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。因此如何能创设一种新型结构的阻气基板，亦成为当前业界极需改进的目标。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的可挠性基板存在的缺陷，而提供一种新型结构的阻气基板,所要解决的技术问题是使其具有良好的阻气能力，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种阻气基板，其中包括：可挠性基材，具有上表面；至少第一无机阻气层，配置于该可挠性基材上，且覆盖该上表面；以及至少第二无机阻气层，配置于该第一无机阻气层上，且覆盖该第一无机阻气层，其中该第二无机阻气层的水氧穿透速率低于该第一无机阻气层的水氧穿透速率。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的阻气基板，其中所述的可挠性基材包括塑料基材或薄化玻璃基材。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的材质包括氮化硅或氧化硅。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的材质与该第二无机阻气层的材质相同。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的厚度大于该第二无机阻气层的厚度。

前述的阻气基板，其中所述的第二无机阻气层的致密度高于该第一无机阻气层的致密度。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的应力值小于该第二无机阻气层的应力值。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的应力值介于-100MPa至200MPa之间。

前述的阻气基板，其中所述的第二无机阻气层的应力值介于-300MPa至-700MPa之间。

前述的阻气基板，其中所述的第一无机阻气层的水氧穿透速率介于0.1g/m²/day至1g/m²/day之间。

前述的阻气基板，其中所述的第二无机阻气层的水氧穿透速率介于0.1g/m²/day至0.01g/m²/day之间。

前述的阻气基板，其特征在于更包括：黏着层，配置于该第二无机阻气层上，且覆盖该第二无机阻气层。

前述的阻气基板，其特征在于至少第一无机阻气层为多个第一无机阻气层，而所述第一无机阻气层与该第二无机阻气层交替堆叠于该可挠性基材上。