[发明专利]端子结构、挠曲部和头悬架

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过导电粘合剂连接到压电元件的电极并且在连接到布线层的金属层上具有端面的端子结构，一种应用了该端子结构的挠曲部，和一种应用了该挠曲部的头悬架。

背景技术

信息设备急速地小型化和精密化，为了使用这种信息设备，能够在非常短的距离中操作定位控制的微型致动器的需求增加了。例如，用于更正焦点和倾斜角的光学系统、用于控制墨头的喷墨打印机和用于控制磁头的磁盘驱动器非常需要这种微型致动器。

磁盘驱动器通过增加磁盘每英寸磁道数（TPI），即，通过使磁盘上的每个磁道的宽度变窄而增大它们的存储容量。

因此，磁盘驱动器需要一种能够在微小范围内精确地定位越过磁道的磁头的致动器。

为了满足这种需求，公开号为No.2010-086649号的日本未审专利申请披露了一种具有双致动器系统的头悬架。该双致动器系统除了采用驱动附接有头悬架的承载部的普通音圈马达之外，还采用了一种压电元件。压电元件设置在头悬架的基板和负载梁之间，用以轻微地移动附接在负载梁的前端的磁头。

根据该双致动器系统的头悬架，音圈马达通过承载部转动头悬架，而且，压电元件与施加到其上的电压成比例地变形，从而相对于基板沿摆动方向（负载梁的横向）微小地移动负载梁前端的磁头。这样，头悬架就能够将磁头精确地定位到磁盘上的目标位置。

该双致动器系统通过附接到负载梁上的挠曲部给压电元件提供电力。该挠曲部包括端子结构，以通过作为导电结合部的导电粘合剂使得挠曲部和压电元件彼此电连接。

图19A、19B和19C图示说明了根据相关技术的用作挠曲部的端子的端子结构。

在图19A-19C中，端子201包括金属层203、形成在金属层203上的绝缘层205，以及形成在绝缘层205上的布线层207。金属层203面向压电元件209的电极211。贯通金属层203和绝缘层205形成有通孔213，以使布线层207的端面215暴露给压电元件209的电极211。

端面215粘附在导电粘合剂217上，该粘合剂在端子201和压电元件209之间填充了通孔213，从而将端子210的布线层207电连接到压电元件209的电极211。

根据该相关技术，端子201的端子结构将端面215限定在布线层207的暴露于通孔213中的区域内。也就是说，布线层207的端面215的粘附区域由通孔213限定。

因此，根据该相关技术的端子结构在端面215和导电粘合剂217之间的电连接上是不稳定的，而且它们之间的结合强度也是不够的。

有关这种端面215和导电粘合剂217之间的电连接，应力，例如施加到端面215和导电粘合剂217上的热，有可能暂时中断该电连接，而且当该应力移除时，该电连接可以恢复。这样，根据该相关技术的端子结构上的电连接就是不稳定的。

根据该相关技术，即使端面215是镀金的以提高相对于导电粘合剂217的导电性，也无法得到电连接的不稳定性的改善。

有关端面215和导电粘合剂217之间的结合强度，剥离测试显示出即使导电粘合剂217不导致作为粘接故障的破损，端面215和导电粘合剂217之间的界面也频繁地作为粘合故障而中断。这意味着，根据该相关技术，端面215和导电粘合剂217之间的结合强度是低下的。

这样，根据该相关技术的端子结构在端面215和导电粘合剂217之间的电连接不稳定且结合强度弱。

发明内容

本发明的目的是提供一种端面和导电结合部之间的电连接稳定且结合强度强的端子结构，一种应用了该端子结构的挠曲部，以及一种应用了该挠曲部的头悬架。

为了实现该目的，本发明的一个方面是提供一种应用于头悬架的挠曲部上的端子结构。该端子结构具有金属层、形成在金属层上的绝缘层和形成在绝缘层上的布线层，金属层面对压电元件的电极，布线层通过导电结合部电连接到压电元件的电极。该端子结构包括沿端子结构的层叠方向贯通绝缘层而形成的绝缘层孔，穿过绝缘层孔并将布线层和金属层彼此电连接的导电部，以及限定在金属层的表面上的并且通过导电结合部结合到压电元件的电极上的端面。

根据本发明的这个方面，端面被限定在金属层的整个表面上，并且面向压电元件的电极。即，端面具有相对于导电结合部扩展的连接区域，以使到导电结合部的电连接稳定化，并提高与之连接的结合强度。

附图说明

图1是图示了具有应用了根据本发明的第一实施例的端子结构的挠曲部的头悬架的平面图；

图2是图示了图1的头悬架的后侧的透视图；