[发明专利]一种改良栅结构的晶体管有效
申请号: | 201310085224.2 | 申请日: | 2013-03-15 |
公开(公告)号: | CN103178116A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 戴明志 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改良 结构 晶体管 | ||
1.一种改良栅结构的晶体管,包括基底(1)和处在基底(1)上的介质层(3),所述介质层(3)上设有一源区(5)、一漏区(6)以及连通在所述源区(5)和漏区(6)之间的沟道区(7),其特征在于,所述沟道区(7)内设有第一顶栅(4a)作为晶体管的输出极,其输出的逻辑值在沟道区导通时为逻辑1,在沟道区截断时为逻辑0;
所述晶体管还设有至少两个控制沟道区(7)的输入极;
其中至少有一个输入极为第二顶栅(4b);
还有至少有一个输入极为第三顶栅(4c)和/或底栅;
所述第二顶栅和第三顶栅均位于所述介质层(3)上,且处在所述沟道区(7)的旁边。
2.如权利要求1所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述底栅(2)处在基底(1)和介质层(3)之间或由所述基底(1)兼做。
3.如权利要求2所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述底栅(2)处在基底(1)和介质层(3)之间,所述底栅(2)分布在基底(1)上的局部区域,基底(1)上开设有与底栅(2)位置相应的容置槽,所述底栅(2)的面积至少能够与处在沟道区(7)旁边的顶栅形成耦合,以控制所述沟道区(7)。
4.如权利要求1或2或3所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述顶栅为两个,分别为第一顶栅(4a)和第二顶栅(4b),其中第一顶栅(4a)处在所述沟道区(7)内,且与源区(5)和漏区(6)三者排列形成第一直线,第二顶栅(4b)位于所述第一直线的一侧。
5.如权利要求1或2或3所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述顶栅为两个,分别为第一顶栅(4a)和第二顶栅(4b),其中第一顶栅(4a)处在所述沟道区(7)内,且与源区(5)和漏区(6)三者排列成第一直线,第二顶栅(4b)位于所述第一直线上。
6.如权利要求1或2或3所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述顶栅为三个,分别为第一顶栅(4a)、第二顶栅(4b)和第三顶栅(4c),其中第一顶栅(4a)处在所述沟道区(7)内,且与源区(5)和漏区(6)三者排列成第一直线,第二顶栅(4b)和第三顶栅(4c)分别位于所述第一直线的两侧,或位于所述第一直线的同侧。
7.如权利要求6所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述第二顶栅(4b)和第三顶栅(4c)排列成第二直线,且第二直线与第一直线垂直。
8.如权利要求1或2或3所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述顶栅为三个,分别为第一顶栅(4a)、第二顶栅(4b)和第三顶栅(4c),其中第一顶栅(4a)处在所述沟道区(7)内,且与源区(5)和漏区(6)三者排列成第一直线,所述第二顶栅(4b)和第三顶栅(4c)排列成第二直线,且第二直线与第一直线重合或平行。
9.如权利要求1所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,输入极不包含有底栅,所述顶栅为四个,分别为第一顶栅(4a)、第二顶栅(4b)、第三顶栅(4c)和第四顶栅,其中第二顶栅(4b)、第三顶栅(4c)和第四顶栅均作为输入极。
10.如权利要求1所述的改良栅结构的晶体管,其特征在于,所述基板与介质层之间设有导电层。
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