[发明专利]振动元件、振子、电子器件以及电子设备

权利要求书

1.一种振动元件，其具有：

基板，该基板包含：振动部，其以厚度剪切振动进行振动，在侧面具有台阶；和

外缘部，其沿着所述振动部的外缘配置，厚度比所述振动部的厚度薄，

以及设置在所述振动部上的激励电极，

在设所述外缘部的主面到所述振动部的第1级台阶的大小为Md1、所述第1级台阶到第2级台阶的大小为Md2、所述基板的材料密度为d_A、所述激励电极的材料密度为d_B、所述第2级台阶的主面上的所述激励电极的厚度为t_B时，满足以下关系：

((Md2+(d_B/d_A)×t_B))/Md1≤1.4，

在设所述基板的沿所述厚度剪切振动的振动方向的长度为x、所述振动部的所述厚度为t、所述t和所述外缘部的厚度t’之差Md与所述t的比的百分率为z时，满足以下关系：

-5≤z+1.32×(x/t)-42.87≤5(％)。

2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，满足以下关系：

0.5≤((Md2+(d_B/d_A)×t_B))/Md1≤1.4。

3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

所述基板是旋转Y切石英基板。

4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

在俯视时所述振动部的外形为矩形，

所述振动部的第1级的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度比所述振动部的第2级的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度大。

5.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，

在俯视时所述激励电极的外形与所述振动部的第2级的外形相同。

6.一种振子，其包含：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

收纳所述振动元件的封装。

7.一种电子器件，其包含：

权利要求1或2所述的振动元件；以及

电子元件。

8.一种电子设备，其包含权利要求1或2所述的振动元件。