[发明专利]一种真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有：真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对所述基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有：

两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放所述镀膜材料的镀膜材料置放部；和

一个基板承载部，与所述转动轴相连，用于承载作为基板的所述镀膜锅和装载所述复数个夹具，

其中，所述镀膜锅包括：锅底板、与该锅底板固定相连并环绕所述锅底板设置的锅身，所述锅底板含有：定位凸台、与所述夹具的形状相对应并且个数相等的复数个贯穿孔、第一连接部以及第二连接部，所述第一连接部与所述基板承载部相对应，用于当所述镀膜锅作为基板时与所述基板承载部相连接，所述第二连接部与所述镀膜材料置放部支撑座相对应，用于当所述镀膜锅作为镀膜材料置放部时与所述镀膜材料置放部支撑座相连接，

所述基板承载部包含：与所述转动轴相匹配的定位座和与该定位座固定相连的承载板，所述定位座与所述转动轴相连，所述承载板上设有：与所述定位凸台相对应的定位凹槽、与所述第一连接部相对应的连接固定部以及与所述复数个贯穿孔和所述复数个夹具相对应用于连接该复数个夹具的夹具装载部，

当所述镀膜锅作为基板时，所述夹具的连接轴穿过所述贯穿孔与所述夹具装载部相连。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述定位凸台上设有第一外螺纹、所述定位凹槽内设有与所述第一外螺纹相匹配的第一内螺纹，

在所述锅底板作为基板时，所述定位凸台与所述定位凹槽通过所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述第一连接部含有若干个第一螺纹孔，

所述连接固定部含有：与所述第一螺纹孔的形状相对应，并且个数与所述若干个第一螺纹孔的个数相同的若干个第二螺纹孔；以及与所述第一螺纹孔和所述第二螺纹孔相对应，并且个数与所述第二螺纹孔的个数相同的若干个第一螺栓。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述锅底板的形状为圆台形。

5.根据权利要求1或4所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述锅底板的厚度在1~4mm范围内。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述转动轴与所述定位座采用螺纹连接、嵌合连接、卡合连接中的任一种连接方式相连。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述转动轴与所述定位座采用螺纹连接方式相连，

所述转动轴含有用于安装所述基板承载部的安装部，所述安装部含有多个第二螺栓，

所述定位座包括与所述多个第二螺栓相对应，并且个数相等的多个第三螺纹孔。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述夹具装载部包括与所述复数个夹具的个数相等的复数个夹具装载台。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述夹具的连接轴与所述夹具装载台采用螺纹连接、嵌合连接、卡合连接中的任一种连接方式相连。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于：

其中，所述夹具的连接轴与所述夹具装载台采用螺纹连接方式相连，

所述夹具的连接轴上含有第二外螺纹，

所述夹具装载台具有与所述连接轴相对应的装载凹槽，该装载凹槽内设有第二内螺纹。