[发明专利]一种真空镀膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜装置。

背景技术

在真空镀膜装置中，通常将待镀膜的基片放入真空室内，并由安装在基片承载部上的夹具对基片进行夹持，然后由转动轴带动基片承载部转动，并由离子源对置放在镀膜材料置放部的镀膜材料进行轰击，使镀膜材料溅射并均匀沉积在基片表面。

但是在上述镀膜过程中，镀膜材料不仅被溅射到基片上，而且也会被溅射到基片承载部上，在多次镀膜后基片承载部上就会沉积相当多的镀膜材料，使得镀膜材料得不到充分地利用，这就造成了镀膜材料的浪费，同时，由于这些镀膜材料通常为昂贵的金属材料，因而也大大增加了镀膜的成本。

发明内容

鉴于以上问题点，本发明的目的在于提供一种能够充分利用镀膜材料进行镀膜的真空镀膜装置。

本发明为了达到以上的目的，采用了以下结构。

本发明的一种真空镀膜装置，用于将镀膜材料镀到基片上，含有：真空室、转动轴、镀膜材料置放部支撑座以及对基片进行夹持的复数个夹具，其特征在于，还具有：两个镀膜锅，一个作为基板，另一个作为用于置放镀膜材料的镀膜材料置放部；和一个基板承载部，与转动轴相连，用于承载作为基板的镀膜锅和装载复数个夹具，其中，镀膜锅包括：锅底板、与该锅底板固定相连并环绕锅底板设置的锅身，锅底板含有：定位凸台、与夹具的形状相对应并且个数相等的复数个贯穿孔、第一连接部以及第二连接部，第一连接部与基板承载部相对应，用于当镀膜锅作为基板时与基板承载部相连接，第二连接部与镀膜材料置放部支撑座相对应，用于当镀膜锅作为镀膜材料置放部时与镀膜材料置放部支撑座相连接，基板承载部包含：与转动轴相匹配的定位座和与该定位座固定相连的承载板，定位座与转动轴相连，承载板上设有：与定位凸台相对应的定位凹槽、与第一连接部相对应的连接固定部以及与复数个贯穿孔和复数个夹具相对应用于连接该复数个夹具的夹具装载部，当镀膜锅作为基板时，夹具的连接轴穿过贯穿孔与夹具装载部相连。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：定位凸台上设有第一外螺纹、定位凹槽内设有与第一外螺纹相匹配的第一内螺纹，在锅底板作为基板时，定位凸台与定位凹槽通过第一外螺纹与第一内螺纹相连接。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：第一连接部含有若干个第一螺纹孔，连接固定部含有：与第一螺纹孔的形状相对应，并且个数与若干个第一螺纹孔的个数相同的若干个第二螺纹孔；以及与第一螺纹孔和第二螺纹孔相对应，并且个数与第二螺纹孔的个数相同的若干个第一螺栓。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：锅底板的形状为圆台形。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：锅底板的厚度在1~4mm范围内。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：转动轴与定位座采用螺纹连接、嵌合连接、卡合连接中的任一种连接方式相连。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：转动轴与定位座采用螺纹连接方式相连，转动轴含有用于安装基板承载部的安装部，安装部含有多个第二螺栓，定位座包括与多个第二螺栓相对应，并且个数相等的多个第三螺纹孔。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：夹具装载部包括与复数个夹具的个数相等的复数个夹具装载台。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：夹具的连接轴与夹具装载台采用螺纹连接、嵌合连接、卡合连接中的任一种连接方式相连。

进一步地，在本发明的真空镀膜装置中，还可以具有这样的特征：夹具的连接轴与夹具装载台采用螺纹连接方式相连，夹具的连接轴上含有第二外螺纹，夹具装载台具有与连接轴相对应的装载凹槽，该装载凹槽内设有第二内螺纹。

发明的作用与效果