[发明专利]存储器及其存储阵列、访问控制方法和访问控制电路有效
申请号: | 201310095400.0 | 申请日: | 2013-03-22 |
公开(公告)号: | CN103236269B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 杨光军;顾靖 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | G11C16/06 | 分类号: | G11C16/06;G11C16/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 吴靖靓,骆苏华 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存储器 及其 存储 阵列 访问 控制 方法 控制电路 | ||
技术领域
本发明涉及半导体制造领域,特别是涉及一种存储器及其存储阵列、访问控制方法和访问控制电路。
背景技术
电可擦可编程只读存储器,也称EEPROM存储器(EEPROM,Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)是一种掉电后数据不丢失的半导体存储器。EEPROM存储器可以一次对至少一个字节(Byte)进行擦除。
EEPROM存储器包括EEPROM存储单元,如图1所示的一种EEPROM存储单元,包括两个对称分布的第一存储位及第二存储位;其中,第一存储位包括第一位线电极101、第一控制栅极103、第一浮栅105以及所述第一浮栅105下方的第一沟道区107;第二存储位包括第二位线电极109、第二控制栅极111,第二浮栅113以及所述第二浮栅113下方的第二沟道区115;此外,所述存储单元还包含有位于第一沟道区107及第二沟道区115间的中间沟道区117,以及所述第一控制栅极103、第二控制栅极111与中间沟道区117上的中间电极119。多个上述存储单元矩阵排布形成电可擦可编程只读存储器的存储阵列,其中,每一存储单元的控制栅极、中间电极和位线电极分别连接于控制栅线、字线和位线,并通过所述控制栅线、字线和位线在存储单元的各个电极上加载不同的驱动电压,实现对所述第一存储位或第二存储位的访问。
现有技术中的一种电可擦可编程只读存储器,参见图2。图2所示的电可擦可编程只读存储器的存储阵列的部分结构,图2的存储阵列包括多个字节单元、为各存储单元提供驱动电压的多条位线(包括位线BL0、BL1、…、BL7~BL9、…)、字线(包括字线WL1、WL2、…、WLm)及控制栅线(包括控制栅线CG1~CG4、…、CG2m-1、CG2m)。
结合图1所述存储单元的结构特征,可知该存储阵列包括:
多个字节单元,字节单元包括若干存储单元,比如,图2中,存储单元M11、M12、…、M17、M18构成了第一字节单元,存储单元M19、M110、…构成了第二字节单元,存储单元M21、M22、…、M27、M28构成了第三字节单元。
多条位线,每一存储单元连接两条相邻的位线,每一存储单元所连接的位线包括第一位线和第二位线,可设第一位线作漏极线,第二位线作源极线,存储单元与漏极线相连的第一位线电极相应为第一存储位的漏极,与源极线相连的第二位线电极相应为第二存储位的源极。比如图2中,存储单元M11,其所连接的第一位线为BL1,第二位线为BL0。
多条控制栅线,每一存储单元连接两条相邻的控制栅线,存储单元所连接的控制栅线包括第一控制栅线与第二控制栅线,各字节单元中各存储单元的第一控制栅极共连同一条第一控制栅线,各字节单元中各存储单元的第二控制栅极共连同一条第二控制栅线。如图2所示,第一字节单元中各存储单元的第一控制栅极共连第一控制栅线CG1,第二控制栅极共连第二控制栅线CG2。
多条字线,各字节单元中各存储单元的中间电极共用一条字线。如图2所示,第一字节单元中各存储单元的中间电极共用字线WL1。
开关阵列,包括多个分别与相应控制栅线连接的控制栅线控制开关和多个分别与相应字线连接的字线控制开关。如图2中可知,第一字节单元的第一控制栅线CG1与控制栅线控制开关K1相连,第一字节单元的第二控制栅线CG2与控制栅线控制开关K3相连,第一字节单元的字线WL1与字线控制开关K2相连,类似的,控制栅线CG3、CG4、…、CG2m-1、CG2m、字线WL2、…、WLm对应地与控制开关K4~K6、…、K3m-2~K3m相连。由于每个字节单元的控制栅线及字线是与其他字节单元分别控制的,在控制栅线延伸方向或字线延伸方向上相邻的字节单元之间设置有若干控制每个字节单元的控制栅线及字线的控制开关,比如第一字节单元与第二字节单元之间设置有控制第二字节单元控制栅线与字线的控制开关k。
然而,开关阵列中的各控制开关是需要占用一定芯片面积的,这导致存储器各字节单元之间的间隔距离(如图2第一字节单元与第二字节单元之间的间隔距离D)较大,不利于芯片体积缩小化的趋势。
发明内容
本发明技术方案所解决的技术问题是:如何减小存储器各字节单元之间的间隔距离。
为了解决上述技术问题,本发明技术方案提供了一种存储阵列,包括:
多个字节单元,所述字节单元包括多个存储单元,所述存储单元包括第一存储位、第二存储位及所述第一存储位与第二存储位共用的中间电极;所有存储单元按行和列排布;
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