[发明专利]自动机械调度方法、装置及ELA机台制备控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种用于ELA机台制备中的自动机械进行取放动作的调度的自动机械调度方法、自动机械调度装置及具有该自动机械调度装置的ELA机台制备控制系统。

背景技术

准分子激光退火设备（excimer laser annealer，简称ELA机台）是有机发光二极管制造工艺中的重要设备，ELA机台制备需要搭配（docking）清洗机台，ELA机台为制备中的主机台，主机台之前为执行两个清洗工序的辅助机台，两个清洗工序例如包括用于紫外线去除有机物的第一清洗工序和用于去除微尘的第二清洗工序。

因各机台工艺时间（tack time，或称节拍时间）匹配关系，考虑最优的搭配关系来对自动机械（robot）进行控制，自动机械可为机器人或机械手臂，或为装载器/卸载器（loader/unloader或LD/ULD）。

通常的机台布置方式，如图1所示，中间为轨道区域，轨道区域用于设置自动机械R1移动的轨道，在轨道区域的一侧依次布置主机台EQ4（即ELA机台）、执行第二清洗工序的两个机台EQ2、EQ3（即旋转式清洗机，Spin cleaner），执行第一清洗工序的机台EQ1（即深紫外线机台，Extreme Ultra Violet机台）。而在轨道区域的另一侧为存放玻璃的存放端PORT1-PORT4（数目不固定）。

自动机械R1的作用是进行取放片的工作，包括将原料玻璃自其中一个存放端PORT1-PORT4取出，搬送给机台EQ1，机台EQ1的清洗工序完成后，再将清洗后的玻璃搬送给机台EQ2或机台EQ3；机台EQ2或机台EQ3的清洗工序完成后，再将清洗后的玻璃搬送给主机台EQ4；主机台EQ4的工序完成后，再将成品搬送至指定区域。在搬送时，玻璃是由卡匣承载。

如图1所示，现有技术的自动机械调度方法（或控制方法），目前针对多台机台共用一台自动机械R1的情形，自动机械R1在取放片完成后，用于放入和取出卡匣（cassette）的货叉（fork）收回到原点（home position）位置，而自动机械R1就停留在当前位置，等待接收下一取放片（简称取放）命令。当收到下一个取放命令后，再从当前位置运动到要取放片的机台位置，例如图1所示的在自动机械R在主机台EQ4取片完成后，停留在当前位置，当下一个取放命令要从EQ1取片，放入EQ3时，自动机械R1要运行较长一段距离，这样使整个搭配（docking）机台的工艺时间就会受到影响。

同时，在整个工艺时，主机台EQ4的效率对由四个机台EQ1-EQ4组成的整体设备的效率影响最大，而现有技术的自动机械调度方法，并未对主机台的取放片需求以优先考虑，因此也影响了整体效率的提高。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的为提供一种用于ELA机台制备中的自动机械进行取放动作的调度的自动机械调度方法，以解决现有技术的自动机械调度方法中存在的自动机械有时运行距离长，整体设备的工艺时间受到影响，整体效率不高的技术问题。

本发明的另一目的为提供一种自动机械调度装置，以解决现有技术的自动机械调度方法中存在的自动机械有时运行距离长，整体设备的工艺时间受到影响，整体效率不高的技术问题。

本发明的再一目的为提供一种具有本发明的自动机械调度装置的ELA机台制备控制系统。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种自动机械调度方法，用于ELA机台制备中的自动机械进行取放动作的调度，所述自动机械调度方法包括步骤：步骤S1：控制该自动机械进行当前取放动作；步骤S2：对该自动机械的下一取放动作进行预判；预判各机台的下一取放作业的触发时间，以选取该自动机械的下一取放动作，在该自动机械的当前取放动作完成后，向该自动机械发出关于该下一取放动作的指令，控制该自动机械行进到该下一取放动作对应的机台的取放端口进行等待；步骤S3：控制该自动机械进行该下一取放动作。

一种自动机械调度装置，用于ELA机台制备中的自动机械完成取放动作的调度，所述自动机械调度装置包括收发模块、控制模块和预判模块；该收发模块，接收到该自动机械发送的当前取放动作完成的报告后，传送给该判断模块；以及将该控制模块传送的下一取放动作的指令发送给该自动机械；该控制模块，控制该自动机械进行该当前取放动作，按照预判模块所选取的下一取放动作，生成该自动机械的该下一取放动作的指令，以控制该自动机械行进到该下一取放动作对应的机台的取放端口进行等待；该预判模块，预判各机台的下一取放作业的触发时间，以选取该自动机械的下一取放动作。