[发明专利]用于产生等离子体与离子间反应的质谱装置及方法有效

专利信息
申请号: 201310099524.6 申请日: 2013-03-26
公开(公告)号: CN103219220A 公开(公告)日: 2013-07-24
发明(设计)人: 贾滨;徐国宾;杨芃原 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01J49/04 分类号: H01J49/04;H01J49/12
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;盛志范
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 产生 等离子体 离子 反应 装置 方法
【权利要求书】:

1. 一种用于产生等离子体与离子间反应的质谱装置,其特征在于,该装置至少包括:

常压电离气室;

与所述常压电离气室导通的质谱离子源产生装置以及排废口;

与所述常压电离气室导通的绝缘材料制成的离子传输管;

套设在所述离子传输管外、与所述常压电离气室导通的反吹气通道;

套设在所述离子传输管外表面、用于激发等离子体的射频电极及其电源;

以及设置于离子传输管另一端的质谱仪。

2. 根据权利要求1所述的用于产生等离子体与离子间反应的质谱装置,其特征在于,所述绝缘材料为石英、玻璃或陶瓷。

3. 根据权利要求1所述的用于产生等离子体与离子间反应的质谱装置,其特征在于,所述射频电极采用金属电极。

4. 一种基于权利要求1所述的用于产生等离子体与离子间反应的质谱装置的质谱方法,其特征在于包括以下步骤:

1)与常压电离气室导通的离子源将待测物电离,产生待测离子;

2)通过反吹气通道,向该常压电离气室内通入反应气体;

3)在设置于离子传输管另一端的质谱仪的真空设备作用下,反应气体和待测离子一起抽入到离子传输管中; 

4)在离子传输管外壁的射频电极上施加射频电压,用以激发离子传输管内的反应气体,产生等离子体,进而引发待测离子与等离子体间的反应,使待测离子发生离子化学行为;

5)待测离子与等离子体间的反应产生的产物离子,经过离子传输管后,经离子传输系统引入质谱仪,进行质谱分析。

5. 根据权利要求4所述的质谱方法,其特征在于,所述射频电极施加的射频电压为3kV,50kHz中频电压,或者为13.6MHz,50W射频电压。

6. 根据权利要求4所述的质谱方法,其特征在于,进一步包括以下步骤:反应气体和离子源产生的废液、废气通过与常压电离气室导通的排废口排出。

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