[发明专利]洗净液组合物及基板的洗净方法有效
| 申请号： | 201310101030.7 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN103361207A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡宇杰 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D10/02 | 分类号： | C11D10/02;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗净 组合 方法 | ||
1.一种洗净液组合物，包含：
碱性化合物(A)；
如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)；
如式(III)所示的芳香族磺酸化合物(C)；以及
水(D)；
在式(I)及式(2)中，EO为乙氧基；AO为PO及/或BO，PO为丙氧基，且BO为丁氧基；m为3～100的数；n为0～0.2×m的数；p为3～100的数；q为0至0.2×p的数；x为1或2；且y为1或2；
在式(III)中，W为碳数1～4的烷基或烷氧基；环A为苯环或萘环；Z为氢原子、碱金属或碱土金属；r为1～2的整数；且s为1～2的整数。
2.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述非离子型界面活性剂(B)的EO与AO为嵌段排列或随机排列。
3.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述非离子型界面活性剂(B)的AO中，PO与BO为嵌段排列或随机排列。
4.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述芳香族磺酸化合物(C)的环A为苯环。
5.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述芳香族磺酸化合物(C)的W为碳数1～4的烷基。
6.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中基于所述碱性化合物(A)为100重量份，所述非离子型界面活性剂(B)的使用量为10重量份至300重量份，所述芳香族磺酸化合物(C)的使用量为20重量份至300重量份，且所述水(D)的使用量为500重量份至30,000重量份。
7.如权利要求1所述的洗净液组合物，其中所述洗净液组合物的表面张力为25dyne/cm至60dyne/cm。
8.一种清洗基板的方法，其是使用如权利要求1至7中任一项所述的洗净液组合物清洗一基板。
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