[发明专利]洗净液组合物及基板的洗净方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种洗净液组合物及基板的洗净方法，且特别是有关于一种针对玻璃基板，具洗净力佳且消泡性佳的洗净液组合物。

背景技术

以往，作为电视、个人计算机、钟表等液晶显示用的玻璃基板，如钠钙玻璃、硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等，可经熔融成形工程制得玻璃母板，并切割成任意尺寸以供使用。

另外，近年来常用于彩色液晶显示器、传感器及色分解装置等的彩色滤光片，亦于透明玻璃基板上形成黑色矩阵及红、绿、蓝的象素画像，并使用分散颜料用的感光性树脂，以一般微影制程(photolithography)制得。

然而，上述玻璃基板于切割时，玻璃切削粉(glass cullet)常附着于基板上而妨碍后续的精密的研磨制程、膜处理制程等。此外，彩色滤光片于制造时，飞散的微粒或前制程使用的感光性树脂的残渣等亦会附着于基板上，其不仅造成制品良率的低下，且当彩色滤光片与TFT阵列（array）贴合时甚至可能产生共同短路(common short)的情形。

因此，上述制程中导入了玻璃基板的洗净制程，而基板的制造及加工厂商为了提高制造良率，亦致力于洗净技术的提升。特别是近年来，对于制品高度信赖性的需求，以及彩色滤光片的高精度化的走向，玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。

为有效清除上述基板上残存的附着物，目前业界改善的方式，乃采用特定的洗净液组合物清洗玻璃基板。日本特开2009-084565号公开特许公报揭示，使用含非离子型界面活性剂、水、特定酸(或其盐类)及碱剂的碱型非离子界面活性剂组合物等。然而，使用上述洗净液组合物清洗玻璃基板时，仍有洗净力不佳、消泡性不佳的问题，造成成本提高。

有鉴于此，亟需提出一种洗净液组合物及基板的洗净方法，藉以改善已知的洗净液组合物洗净力不佳、消泡性不佳等缺点。

发明内容

因此，本发明的目的之一在于提供一种洗净力佳且消泡性佳的洗净液组合物，该洗净液树脂组合物至少包含碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、如式(III)所示的芳香族磺酸化合物(C)以及水(D)。

本发明的另一目的是在于提供一种基板的洗净方法，其是利用上述洗净液组合物清洗基板。

本发明的洗净液组合物包括碱性化合物(A)、如式(I)或式(II)所示的非离子型界面活性剂(B)、如式(III)所示的芳香族磺酸化合物(C)以及水(D)，以下析述之。

碱性化合物(A)

本发明的碱性化合物(A)包含无机碱性化合物(A-1)及/或有机碱性化合物(A-2)。

上述无机碱性化合物(A-1)的具体例，如：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵等的碱金属氢氧化物；磷酸氢二铵、磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢铵、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等的碱金属或铵的磷酸盐类；硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等的碱金属硅酸盐类；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等的碱金属碳酸盐类；硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等的碱金属硼酸盐类。其中，以碱金属氢氧化物为较佳。上述的无机碱性化合物(A-1)可以单独一种使用或者混合多种使用。

本发明的有机碱性化合物(A-2)包含氢氧四级铵基盐类化合物及有机胺类的有机碱性化合物。上述氢氧四级铵基盐类化合物的具体例，如：氢氧四甲铵(tetramethyl ammonium hydroxide)、氢氧四乙胺、氢氧四丙胺、氢氧四丁胺、2-羟基-氢氧三甲铵(2-hydroxyl trimethyl ammonium hydroxide)等化合物；而有机胺类的具体例如：单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二-异丙胺(di-isopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-胺基乙氧基)乙醇(2-(2-aminoethoxy)ethanol)、单异丙醇胺(monoisopropanol-amine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、正乙基乙醇胺(N-ethyl ethanolamine)、正丁基乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基异丙醇胺(N,N-dimethyl isopropanolamine)、环己胺、吗啉(morpholine)等化合物。上述的有机碱性化合物(A-2)可以单独一种使用或者混合多种使用。