[发明专利]有机发光二极管显示器及其制造方法在审
申请号: | 201310104671.8 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103378126A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 安东尼科夫·德米特里 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77;H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 余朦;姚志远 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光二极管 显示器 及其 制造 方法 | ||
技术领域
所描述的技术一般地涉及有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)显示器包括有机发光二极管,每个有机发光二极管包括两个电极和在其间放置的有机发射层,并且从一个电极注入的电子与从另一个电极注入的空穴在有机发射层内结合,从而形成激子,并且通过由激子产生的能量发射光。
为了形成有机发射层,在薄膜晶体管面板上沉积有机材料,并且为实现此目的,将填充有有机材料的沉积源加热,以蒸发有机材料。然后,蒸发的有机材料喷射在薄膜晶体管面板上。在这种情况下,为将蒸发并喷射的有机材料沉积在像素区域内,使用沉积掩模。沉积掩模包括用于传送有机材料的开口和由金属制成的、用于阻挡有机材料的阻挡部。
然而,当有机发光二极管(OLED)显示器的尺寸增大时,将金属制成的沉积掩模与薄膜晶体管面板对齐是困难的。为解决这个问题,开发出一种从沉积源向沉积掩模倾斜喷射有机材料的方法。然而,在此情况中,为补偿倾斜线,沉积源与薄膜晶体管面板之间的距离超过了薄膜晶体管面板的尺寸若干倍。当薄膜晶体管面板的尺寸为若干米或更大时,将难于实现该沉积方法。
公开在此背景技术部分的以上信息仅用于增强对所描述的技术背景的理解,并且可包含这样的信息,其并不形成对于本领域普通技术人员来说在本国已知的现有技术。
发明内容
本发明的各实施方式通常涉及利用了沉积掩模的有机发光二极管(OLED)显示器及其制造方法,该沉积掩模能够应用于大尺寸有机发光二极管(OLED)显示器并能易于对齐。
根据示例性实施方式的有机发光二极管(OLED)显示器包括:薄膜晶体管面板,包括多个薄膜晶体管;第一色彩有机发射层与第二色彩有机发射层,位于所述薄膜晶体管面板上,所述第一色彩有机发射层与所述第二色彩有机发射层彼此间隔开;以及第三色彩有机发射层,覆盖所述薄膜晶体管面板、所述第一色彩有机发射层以及所述第二色彩有机发射层,其中,所述第一色彩有机发射层与所述第三色彩有机发射层对应于第一子像素,其中,所述第二色彩有机发射层与所述第三色彩有机发射层对应于第二子像素,以及其中,所述第三色彩有机发射层位于所述第一色彩有机发射层与所述第二色彩有机发射层之间的部分对应于第三子像素。
所述第一子像素、所述第二子像素与所述第三子像素可形成四边形像素。
所述第一色彩有机发射层可包括红色有机发射层,所述第二色彩有机发射层可包括绿色有机发射层,所述第三色彩有机发射层可包括蓝色有机发射层。
而且,根据另一示例性实施方式的有机发光二极管(OLED)显示器包括:薄膜晶体管面板,包括多个薄膜晶体管;以及彼此相邻的第一色彩有机发射层、第二色彩有机发射层和第三色彩有机发射层,所述第一色彩有机发射层、所述第二色彩有机发射层和所述第三色彩有机发射层中的每个均在所述薄膜晶体管面板上具有菱形形状,其中所述第一色彩有机发射层、所述第二色彩有机发射层与所述第三色彩有机发射层分别对应于第一子像素、第二子像素与第三子像素,并且其中所述第一子像素、所述第二子像素与所述第三子像素形成六边形像素。
多个所述六边形像素可彼此间隔开,并以蜂窝形状排列。
所述第一色彩有机发射层可包括红色有机发射层,所述第二色彩有机发射层可包括绿色有机发射层,所述第三色彩有机发射层可包括蓝色有机发射层。
而且,根据示例性实施方式的有机发光二极管(OLED)显示器的制造方法包括:形成薄膜晶体管面板;通过光刻工艺在所述薄膜晶体管面板上形成沉积掩模;从线性沉积源将有机材料倾斜地喷射至所述沉积掩模,以在所述薄膜晶体管面板上形成有机发射层;以及通过使用粘附膜去除所述沉积掩模,其中,所述沉积掩模包括多个沉积壁,所述多个沉积壁配置为阻挡以小于阻挡角的角度喷射的有机材料。
所述沉积掩模可包括平行沉积壁,所述平行沉积壁包括彼此间隔开并相互基本平行的两个沉积壁。
当所述沉积壁之间的距离表示为Wp,所述有机材料以之被所述沉积壁阻挡的所述阻挡角表示为α,且所述有机材料以之在所述平行沉积壁内沉积的沉积长度表示为Wsp时,所述沉积壁的高度h可被定义为:h=(Wp-Wsp)×tanα。
形成所述有机发射层的步骤可包括:以第一方向喷射第一有机材料,从而在所述平行沉积壁内形成第一色彩有机发射层;以与所述第一方向相差180度的第二方向喷射第二有机材料,从而在所述平行沉积壁内形成第二色彩有机发射层;以及以基本平行于所述沉积壁的高度方向的第三方向喷射第三有机材料,从而在所述平行沉积壁内形成第三色彩有机发射层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的