[发明专利]精密测长机及其光量干涉排除方法和装置

权利要求书

1.一种精密测长机光量干涉排除方法，其特征在于，在量测前执行以下步骤：

调节当前量测点位的反射输入光量直至测得的反射输出光量等于目标反射输出光量值，得到补正反射输入光量值，其中所有量测点位的目标反射输出光量值均相等；将所述当前量测点位的补正反射输入光量值保存在量测参数集合中；

和/或调节当前量测点位的透射输入光量直至测得的透射输出光量等于目标透射输出光量值，得到补正透射输入光量值，其中所有量测点位的目标透射输出光量值均相等；将所述当前量测点位的补正透射输入光量值保存在量测参数集合中。

2.如权利要求1所述的精密测长机光量干涉排除方法，其特征在于，所述调节当前量测点位的反射输入光量直至测得的反射输出光量等于目标反射输出光量值的步骤具体包括：

将当前量测点位的反射输入光量设置为初始反射输入光量值，将当前量测点位的透射输入光量值设置为零；

测量所述当前量测点位的反射输出光量；

若测得的反射输出光量大于所述目标反射输出光量值，则以预设差值逐步减小所述反射输入光量，直至测得的反射输出光量等于所述目标反射输出光亮值；

若测得的反射输出光量小于所述目标反射输出光量值，则以预设差值逐步增加所述反射输入光量，直至测得的反射输出光量等于所述目标反射输出光量值。

3.如权利要求1所述的精密测长机光量干涉排除方法，其特征在于，所述调节当前量测点位的透射输入光量直至测得的透射输出光量等于目标透射输出光量值的步骤具体包括：

将当前量测点位的透射输入光量设置为初始透射输入光量值，将当前量测点位的反射输入光量值设置为零；

测量所述当前量测点位的透射输出光量；

若测得的透射输出光量大于所述目标透射输出光量值，则以预设差值逐步减小所述透射输入光量，直至测得的透射输出光量等于所述目标透射输出光亮值；

若测得的透射输出光量小于所述目标透射输出光量值，则以预设差值逐步增加所述透射输入光量，直至测得的透射输出光量等于所述目标透射输出光量值。

4.如权利要求1所述的精密测长机光量干涉排除方法，其特征在于，所述反射输入光量由反射光源亮度值表示，所述透射输入光量由透射光源亮度值表示，所述反射输出光量由反射图像灰阶值表示，所述透射输出光量由透射图像灰阶值表示。

5.一种精密测长机光量干涉排除装置，其特征在于，包括：

反射补正模块，用于调节当前量测点位的反射输入光量直至测得的反射输出光量等于目标反射输出光量值，得到补正反射输入光量值，其中所有量测点位的目标反射输出光量值均相等；和/或透射补正模块，用于调节当前量测点位的透射输入光量直至测得的透射输出光量等于目标透射输出光量值，得到补正透射输入光量值，其中所有量测点位的目标透射输出光量值均相等；

参数设置模块，用于将所述当前量测点位的补正反射输入光量值和/或补正透射输入光量值保存在量测参数集合中。

6.如权利要求5所述的精密测长机光量干涉排除装置，其特征在于，所述反射补正模块包括：

反射测量初始化模块，用于将当前量测点位的反射输入光量设置为初始反射输入光量值，将当前量测点位的透射输入光量值设置为零；

反射输出光量测量模块，用于测量所述当前量测点位的反射输出光量；

反射调节模块，用于当所述反射输出光量测量模块测得的反射输出光量大于所述目标反射输出光量值时，以预设差值逐步减小所述反射输入光量，直至测得的反射输出光量等于所述目标反射输出光亮值，得到补正反射输入光量值；当所述反射输出光量测量模块测得的反射输出光量小于所述目标反射输出光量值时，以预设差值逐步增加所述反射输入光量，直至测得的反射输出光量等于所述目标反射输出光量值，得到补正透射输入光量值。