[发明专利]基板处理装置及方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其是处理基板的装置，包括：

外壳，其具有搬入基板的开口；

喷嘴，其由所述外壳内提供，向基板供给处理液；及

门装配件，其用以调节所述开口的开放宽度，

所述门装配件具有：

沿着所述开口的横方向并排提供的多个门，及

所述门之中至少一个向上下方向移动的驱动器。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述开口具有长方形状，所述各门具有长方形状。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述基板具有长方形的板形状，所述喷嘴于所述基板的边之中与所述开口的横方向以及平行边对应，或者进而具有较长的长度，所述喷嘴的横方向与所述开口的横方向平行而提供。

4.如权利要求1所述的基板处理装置，进而包括：于所述处理室内提供搬送基板的搬送单元。

5.如权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，所述多个门以可独立地驱动的方式于各个所述门上个别地结合有所述驱动器。

6.如权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，所述多个门具有：

中央门，其于所述开口的横方向上位于中央区域，

第1侧部门，其位于所述开口的一侧部，及

第2侧部门，其位于所述开口的他侧部。

7.如权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述驱动器具有：

驱动所述中央门的中央驱动器，

驱动所述第1侧部门的第1侧部驱动器，及

驱动所述第2侧部门的第2侧部驱动器。

8.如权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述驱动器具有：

驱动所述中央门的中央驱动器，及

同时驱动所述第1侧部门与所述第2侧部门的侧部驱动器。

9.一种基板处理装置，其是处理基板的装置，包括：

外壳，其具有搬入基板的开口；

喷嘴，其由所述外壳内提供，向基板供给处理液；及

调节所述开口的开放宽度的门装配件；

其中，所述门装配件包括：

门，其是具有与所述开口的长度对应的长度的门，及

驱动器，其是使所述门向上下方向移动的驱动器；

其中，所述门具有藉由所述门向上下方向移动，而沿着所述开口的横方向的所述开口的开放宽度不同的形状。

10.如权利要求9所述的基板处理装置，其中，所述开口大致为长方形状，所述门以其两侧部区域的下端的高度高于其中央区域的下端的高度而提供。

11.一种基板处理装置，其是处理基板的装置，包括：

外壳，其具有搬入基板的开口；及

喷嘴，其由所述外壳内提供，向基板供给处理液；

其中，所述开口以沿着其横方向于上下方向上宽度不同的方式而提供。

12.如权利要求11所述的基板处理装置，进而包括调节所述开口的开放宽度的门装配件。

13.如权利要求11或12所述的基板处理装置，其中，所述开口以其两侧部区域的上端的高度高于其中央区域的上端的高度而提供。

14.一种基板处理方法，其于具有基板搬入的开口的外壳内向基板供给处理液来处理基板，并以沿着所述开口的横方向上下开口的开放宽度不同的方式提供的状态下处理所述基板。

15.如权利要求14所述的基板处理方法，其中，所述开口以沿着横方向其侧部区域与其中央区域相比开放宽度更大的方式提供。

16.如权利要求15所述的基板处理方法，其中，于所述开口的两侧部区域开放宽度以相互不同的方式而提供。

17.如权利要求14至16中任一项所述的基板处理方法，其中，沿着所述开口的横方向提供多个门，对所述门之中至少一个门的高度进行调节，并调节所述开口的开放宽度。

18.如权利要求14至16中任一项所述的基板处理方法，所述处理液是显影液。

19.如权利要求16所述的基板处理方法，其中，所述基板具有长方形的板形状，所述喷嘴具有于所述基板的边之中与所述开口的横方向平行的边更长的长度，所述喷嘴的横方向与所述开口的横方向相平行。