[发明专利]传输装置、传输方法、传输系统及等离子体加工设备有效

专利信息
申请号: 201310107908.8 申请日: 2013-03-29
公开(公告)号: CN104078401A 公开(公告)日: 2014-10-01
发明(设计)人: 杨斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 传输 装置 方法 系统 等离子体 加工 设备
【权利要求书】:

1.一种传输装置,包括第一驱动源、传动臂和取件器,其中,所述取件器用于运载工件;所述第一驱动源借助所述传动臂与所述取件器连接,用以驱动所述传动臂移动,以使其带动所述取件器自取件位置移动至放件位置;其特征在于,所述传输装置还包括第二驱动源,

所述第二驱动源与所述传动臂固定连接,并且所述第二驱动源的驱动轴与所述取件器连接,用以驱动所述取件器自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度。

2.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括第一控制器和第二控制器,其中

所述第一控制器用于控制所述第一驱动源驱动所述传动臂移动,以使其带动所述取件器自取件位置移动至放件位置,并向所述第二控制器发送控制信号;

所述第二控制器用于根据所述控制信号控制所述第二驱动源驱动所述取件器自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度。

3.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括第三驱动源,所述第三驱动源借助所述传动臂与所述取件器连接,用以驱动所述传动臂旋转,以使其带动所述取件器旋转预定角度。

4.根据权利要求3所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括第一控制器和第二控制器,其中

所述第一控制器用于控制所述第一驱动源驱动所述传动臂移动,以使其带动所述取件器自取件位置移动至放件位置,并且

所述第一控制器在所述取件位置和/或放件位置位于震荡区域内时向所述第二控制器发送控制信号;所述第二控制器用于根据所述控制信号控制所述第二驱动源驱动所述取件器在自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度;所述震荡区域为预定划分的所述传输装置在整个运动范围内会产生震荡的运动区域;

所述第一控制器在所述取件位置和放件位置均位于无震荡区域内时控制所述第三驱动源驱动所述传动臂旋转,以带动所述取件器在自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度;所述无震荡区域为预定划分的所述传输装置在整个运动范围内不会产生震荡的运动区域。

5.根据权利要求4所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括存储器,所述存储器包括震荡存储区和无震荡存储区,其中

所述震荡存储区用于预先存储所述取件器在所述震荡区域运动时的所有位置信息;

所述无震荡存储区用于预先存储所述取件器在所述无震荡区域运动时的所有位置信息;

所述第一控制器通过查找所述存储器中与所述取件位置和放件位置相对应的位置信息来判断所述取件位置和放件位置是否位于所述无震荡区域,

若所述取件位置和放件位置均位于所述无震荡区域,则控制所述第三驱动源驱动所述传动臂旋转,以带动所述取件器在自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度;若所述取件位置和/或放件位置位于所述震荡区域,则向所述第二控制器发送控制信号;所述第二控制器用于根据所述控制信号控制所述第二驱动源驱动所述取件器在自取件位置移动至放件位置的同时旋转预定角度。

6.根据权利要求5所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括上位机,所述上位机用于接收由手动输入的所述取件器在所述震荡区域运动时的所有位置信息,并将其发送至所述存储器的震荡存储区,以及接收由手动输入的所述取件器在所述无震荡区域运动时的所有位置信息,并将其发送至所述存储器的无震荡存储区。

7.根据权利要求4所述的传输装置,其特征在于,所述传输装置还包括图像采集器,所述图像采集器用于在所述取件器运动至预定位置处时采集被所述取件器运载的工件的图像信息,并将其发送至所述第一控制器;

所述第一控制器基于所述图像信息进行解析和计算而获得所述工件与所述放件位置之间的角度偏差,并根据所述角度偏差控制所述第三驱动源驱动所述传动臂旋转,以使其带动所述取件器旋转来校正所述角度偏差。

8.根据权利要求7所述的传输装置,其特征在于,所述第一控制器基于所述图像信息进行解析和计算而获得所述工件与所述放件位置之间的角度偏差,并判断所述角度偏差是否大于安全阈值,若是,则控制所述第三驱动源驱动所述传动臂旋转,以使其带动所述取件器旋转来校正所述角度偏差。

9.根据权利要求1所述的传输装置,其特征在于,所述第二驱动源包括旋转电机或旋转气缸。

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