[发明专利]一种晶硅太阳能电池叠层钝化的方法无效
| 申请号： | 201310108913.0 | 申请日： | 2013-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104091853A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李士会 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 钝化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶硅太阳能电池叠层钝化工艺，其特征在于：利用湿法氧化的方式在硅片表面形成一定厚度的二氧化硅，之后进行氮化硅膜层沉积。
2.如权力要求1所述的方法，其特征在于：氧化用溶液为硝酸及双氧水。
3.按照权力要求1所述的晶硅太阳能电池叠层钝化工艺，其特征在于：在氧化后的硅片表面直接沉积氮化硅膜，实现双层钝化。
4.按照权力要求1所述的晶硅太阳能电池叠层钝化工艺，其特征在于：二氧化硅厚度小于5～15纳米，氮化硅厚度65-80纳米。
5.如权力要求1所述的多晶硅太阳能电池叠层钝化工艺，其特征在于：叠层氮化硅的折射率自下而上渐进式降低，并且是连续的。
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