[发明专利]电致发光装置的制作方法及其电极基板的制作方法

权利要求书

1. 一种电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，包括下列步骤：

提供一基板；

于该基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极；

形成一金属层，覆盖该第一电极、该第二电极以及该基板；

于该金属层上形成一非结晶透明导电层；

对该非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案；

对该非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使该非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案；以及

以该结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被该结晶化透明导电图案覆盖的该金属层移除，以于该第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于该第二电极上形成至少一第二金属电极垫。

2.如权利要求1所述的电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极的形成方式的步骤更包括对一形成于该基板上的结晶透明导电层进行图案化。

3.如权利要求2所述的电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，该结晶透明导电层是以一物理气相沉积制程直接形成于该基板上。

4.如权利要求1所述的电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极的片电阻是小于或等于该结晶化透明导电图案的片电阻。

5.如权利要求1所述的电致发光装置的电极基板的制作方法，其特征在于，该第一金属电极垫是与该金属辅助电极电性相连，且该金属辅助电极是环绕该第一电极的至少一侧边。

6. 一种电致发光装置的制作方法，其特征在于，包括下列步骤：

提供一基板；

于该基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极；

形成一金属层，覆盖该第一电极、该第二电极以及该基板；

于该金属层上形成一非结晶透明导电层；

对该非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案；

对该非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使该非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案；

以该结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被该结晶化透明导电图案覆盖的该金属层移除，以于该第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于该第二电极上形成至少一第二金属电极垫；

于该第一电极上形成一发光层；以及

于该发光层上形成一第三电极，其中该第三电极是与该第二电极电性连接，以使该第二电极透过该第三电极驱动位于该第一电极与该第三电极之间的该发光层。

7.如权利要求6所述的电致发光装置制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极的形成步骤更包括对一形成于该基板上的结晶透明导电层进行图案化。

8.如权利要求7所述的电致发光装置的制作方法，其特征在于，该结晶透明导电层是以一物理气相沉积制程直接形成于该基板上。

9.如权利要求6所述的电致发光装置的制作方法，其特征在于，该第一电极与该第二电极的片电阻是小于或等于该结晶化透明导电图案的片电阻。

10.如权利要求6所述的电致发光装置的制作方法，其特征在于，该第一金属电极垫是与该金属辅助电极电性相连，且该金属辅助电极是环绕该第一电极的至少一侧边。