[发明专利]电致发光装置的制作方法及其电极基板的制作方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种电极基板的制作方法，尤指一种电致发光装置的电极基板以及电致发光装置的制作方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode, OLED)由于具有高发光效率、不含汞(Hg)和面光源等优点，目前已广泛地应用在各式发光装置例如液晶显示器的背光源以及有机发光二极管显示器上。习知的有机发光二极管发光装置是使用透明导电材料例如氧化铟锡(indium tin oxide, ITO)来形成电极以降低对于发光效果的影响。然而，一般来说，透明导电材料的电阻率仍较金属导电材料高，故当有机发光二极管发光装置因需较大面积的面光源设计而将对应的电极放大时，容易发生因透明电极阻抗较高而导致发光均匀性不佳等问题。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种电致发光装置的电极基板的制作方法以及电致发光装置的制作方法，利用结晶化透明导电图案当作屏蔽来形成金属电极垫以及金属辅助电极，以达到提升发光均匀性、简化制程、提升制程良率以及提升电极基板电性连接的稳定性与信赖性。

本发明的一较佳实施例提供一种电致发光装置的电极基板的制作方法，包括下列步骤。首先，提供一基板。然后，于基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极。接着，形成一金属层，覆盖第一电极、第二电极以及基板。之后，于金属层上形成一非结晶(amorphous)透明导电层。接着，对非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案。然后，对非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案。之后，以结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被结晶化透明导电图案覆盖的金属层移除，以于第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于第二电极上形成至少一第二金属电极垫。

本发明的一较佳实施例提供一种电致发光装置的制作方法，包括下列步骤。首先，提供一基板。然后，于基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极。接着，形成一金属层，覆盖第一电极、第二电极以及基板。之后，于金属层上形成一非结晶(amorphous)透明导电层。接着，对非结晶透明导电层进行一图案化制程，以形成一非结晶透明导电图案。然后，对非结晶透明导电图案进行一结晶化制程，以使非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案。之后，以结晶化透明导电图案为屏蔽，将未被结晶化透明导电图案覆盖的金属层移除，以于第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极，并于第二电极上形成至少一第二金属电极垫。然后，于第一电极上形成一发光层，并于发光层上形成一第三电极。第三电极是与第二电极电性连接，以使第二电极透过第三电极驱动位于第一电极与第三电极之间的发光层。

附图说明

图1至图8绘示了本发明的一较佳实施例的电致发光装置的电极基板的制作方法示意图。

图9与图10绘示了本发明的一较佳实施例的电致发光装置的制作方法示意图。

【主要组件符号说明】

100     电致发光装置的电极基板

110     基板

110A    上表面

110B    下表面

120     结晶透明导电层

120A    第一电极

120C    第二电极

130     金属层

130A    第一金属电极垫

130B    金属辅助电极

130C    第二金属电极垫

140     非结晶透明导电层

140P    非结晶透明导电图案

141P    结晶化透明导电图案

150     绝缘层

160     发光层

170     第三电极

180     封装材料

190     盖板

200     电致发光装置

Z       垂直投影方向。

具体实施方式