[发明专利]描绘设备、描绘方法和制造物品的方法

权利要求书

1.一种描绘设备，所述描绘设备被配置为基于构成描绘数据的多个描绘条带数据通过多个带电粒子射束执行与基板上形成的压射区重叠的描绘，所述设备包括：

带电粒子光学系统，所述带电粒子光学系统被配置为产生所述多个带电粒子射束；以及

控制器，所述控制器被配置为产生作为多个中间条带的数据的多个中间条带数据，所述多个中间条带中的相邻中间条带彼此重叠，并且所述控制器被配置为获得与压射区的变形有关的信息，并且基于与变形有关的所述信息变换所述多个中间条带数据以产生所述多个描绘条带数据。

2.根据权利要求1所述的设备，还包括输入装置，所述输入装置用于输入与所述多个中间条带中的相邻中间条带彼此重叠的宽度有关的信息。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述输入装置被配置为输入与用于表示所述变形的系数有关的信息。

4.根据权利要求2所述的设备，其中，所述输入装置被配置为输入用于表示所述变形的系数的平均值和变化，以及

其中，所述控制器被配置为基于所述平均值来变换描绘数据，然后产生所述多个中间条带数据，以使得所述多个中间条带中的相邻条带彼此重叠基于所述变化而设置的宽度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的设备，其中，所述控制器被配置为在从所述多个中间条带数据产生所述多个描绘条带数据的过程中执行邻近效应校正。

6.根据权利要求5所述的设备，还包括输入装置，所述输入装置用于输入作为与所述多个中间条带中的相邻条带彼此重叠的宽度有关的信息的关于邻近效应校正的信息。

7.一种描绘方法，所述描绘方法基于构成描绘数据的多个描绘条带数据通过多个带电粒子射束执行与基板上形成的压射区重叠的描绘，所述方法包括：

产生作为多个中间条带的数据的多个中间条带数据，所述多个中间条带中的相邻条带彼此重叠；

获得与压射区的变形有关的信息；以及

基于与变形有关的所述信息变换所述多个中间条带数据以产生所述多个描绘条带数据。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，与变形有关的所述信息包括与用于表示所述变形的系数有关的信息。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，与变形有关的所述信息包括与用于表示所述变形的系数的平均值和变化有关的信息，以及

其中，基于所述平均值来变换描绘数据，然后产生所述多个中间条带数据，以使得所述多个中间条带中的相邻条带彼此重叠基于所述变化而设置的宽度。

10.一种制造物品的方法，所述方法包括：

使用根据权利要求1所述的描绘设备或者根据权利要求7所述的描绘方法来在基板上执行描绘；

使在其上已执行所述描绘的基板显影；以及

对显影的基板进行处理以制造所述物品。