[发明专利]封闭式销用陶瓷支板有效
| 申请号： | 201310117784.1 | 申请日： | 2013-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN103236409A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 吴凤丽;姜崴;朱超群;国建花 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 封闭式 陶瓷 | ||
1.一种封闭式销用陶瓷支板，包括支板使用侧（15）和支板固定侧（18），其特征在于：支板使用侧（15）是由分支面A（2）、分支面B（4）及分支面C（8）组成，支板使用侧（15）上的销支撑用面A（1）、销支撑用面B（3）及销支撑用面C（7）是在支板使用侧（15）的基础上下沉而制成的，三个销支撑用面上分别有位于同一同心圆上的三个支撑点，其销支撑用面位于同一平面上，拥有相同的平面度；支板固定侧（18）由分支面D（9）、分支面E（11）共同组成，固定端处设有圆柱台（20），并在端面设有倒角（21），其端面（14）是整个销支板最厚的地方，上述支板固定侧（18）上设有圆柱台（20），其内设有一个沉孔B（21），在支板使用侧也设有一沉孔A（16），上述圆柱台（20）内部设有销孔（6）和安装通孔（5）。
2.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的支板固定侧（18）的分支面E（11）上设有2条对称的加强筋（10），加强筋（10）整体采用锥面（17）的结构，加强筋（10）的起始端设有圆角（12）。
3.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的销孔（6）为1个，安装通孔（5）为3个。
4.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的销支撑用面A（1）、销支撑用面B（3）及销支撑用面C（7）的顶端均采用圆角结构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
