[发明专利]物理量传感器及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，包括：

第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部，及贯穿基板表里的第一贯穿孔；

第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部，及贯穿基板表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式而被配置；

可动体，其被配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，

在所述第一贯穿孔中，设置有与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中，设置有与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极,

所述可动电极部包括：

第一可动电极部；

第二可动电极部，其质量与所述第一可动电极部不同，

所述可动体包括：

轴部，其被设置在所述第一可动电极部与所述第二可动电极部之间，并形成了成为所述可动体的旋转轴的部分；

固定部，其被配置于设置在所述轴部的开口部的内部，且通过设置于所述开口部内部的梁部而与所述轴部进行连结，并通过所述轴部而对所述可动体进行支承，

通过所述固定部，所述可动体被固定于所述第一基体和所述第二基体的至少一方上。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

从所述第一固定电极部至所述第一贯穿电极为止的布线的材质，与从所述第二固定电极部至所述第二贯穿电极为止的布线的材质相同。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一贯穿孔以在俯视观察时与所述第一固定电极部的至少一部分重叠的方式而被配置，

所述第二贯穿孔以在俯视观察时与所述第二固定电极部的至少一部分重叠的方式而被配置。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一基板具有与所述第一基面处于表里关系的第一外表面，

所述第二基板具有与所述第二基面处于表里关系的第二外表面，

在所述第一外表面上，设置有与所述第一贯穿电极相连接的第一布线，

在所述第二外表面上，设置有与所述第二贯穿电极相连接的第二布线，

所述第一布线具有与所述第二布线相同的电气特性。

5.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，

所述第一布线从所述第一基板的所述第一外表面上延伸至所述第一基板的侧面上，

所述第二布线从所述第二基板的所述第二外表面上延伸至所述第二基板的侧面上。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

在所述第一基板的所述第一基面上，设置有第一突出部，

在所述第二基板的所述第二基面上，设置有第二突出部，

所述可动体被所述第一突出部和所述第二突出部夹持。