[发明专利]物理量传感器及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器及电子设备。

背景技术

近年，开发了使用例如硅MEMS（Micro Electro Mechanical System，微型机电系统）技术而对物理量进行检测的惯性传感器等的物理量传感器。

例如，在专利文献1中，公开了一种对加速度进行检测的静电电容型的物理量传感器，在该物理量传感器中，在上方支承基板与下方支承基板之间配置有可动的传感器部，并在上方支承基板及下方支承基板上，形成有与传感器部对置配置的电极，且在传感器部的上下形成有电容元件。

但是，在专利文献1的物理量传感器中，仅在下方支承基板侧设置有与在传感器部的上下形成的电容元件电连接的布线用端子（外部连接用端子）。因此，从上方的电容元件上的固定电极至外部端子为止的布线路径的长度、与从下方电容元件上的固定电极至外部端子为止的布线路径的长度间将产生差。因此，存在如下问题，即，在从上下的电容元件的固定电极引出的引出布线之间产生不同的寄生电容，从而无法使各个布线电容等效。

专利文献1：日本特表2008-544243号公报

发明内容

本发明是鉴于以上的问题点而完成的发明，根据本发明的几个方式，能够提供一种物理量传感器，其为在作为传感器部的可动体的上下形成有电容元件的物理量传感器，且能够缩小从上下的固定电极各自至外部端子为止的布线间的、各条布线路径的长度之差。

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，并能够作为以下的方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的物理量传感器包括：第一基板，其具备设置于第一基面上的第一固定电极部，及贯穿基板表里的第一贯穿孔；第二基板，其具备设置于第二基面上的第二固定电极部，及贯穿基板表里的第二贯穿孔，且以所述第一基面与所述第二基面对置的方式而被配置；可动体，其被配置在所述第一基板与所述第二基板之间，并具备与所述第一固定电极部及所述第二固定电极部对置的可动电极部，在所述第一贯穿孔中，设置有与所述第一固定电极部电连接的第一贯穿电极，在所述第二贯穿孔中，设置有与所述第二固定电极部电连接的第二贯穿电极。

根据这种物理量传感器，由于具备可动电极部以隔着间隙的方式被第一固定电极部和第二固定电极部夹持的结构，因此，能够提供一种在可动体的上下形成有电容元件的物理量传感器。此外，在这种物理量传感器中，在第一基板的第一贯穿孔中设置有第一贯穿电极，并在第二基板的第二贯穿孔中设置有第二贯穿电极。因此，能够提供一种在可动体的上下设置有电容元件、且能够减小从各个固定电极至外部端子为止的布线路径的长度之差的物理量传感器。

应用例2

在本应用例所涉及的物理量传感器中，从第一固定电极部至第一贯穿电极为止的布线的电气特性，与从第二固定电极部至第二贯穿电极为止的布线的电气特性相同。

根据这种物理量传感器，能够提供一种可以进一步减小从各个固定电极至外部端子为止的布线路径的长度之差的物理量传感器。

应用例3

在本应用例所涉及的物理量传感器中，也可以采用如下方式，即，所述第一贯穿孔以在俯视观察时与所述第一固定电极部的至少一部分重叠的方式而被配置，所述第二贯穿孔以在俯视观察时与所述第二固定电极部的至少一部分重叠的方式而被配置。

根据这种物理量传感器，能够设计成，从各个固定电极至外部端子为止的布线路径的长度更短的布线路径。因此，能够提供一种进一步降低了从固定电极至外部端子为止的布线中的寄生电容的影响的物理量传感器。

应用例4

在本应用例所涉及的物理量传感器中，也可以采用如下方式，即，所述第一基板具有与所述第一基面处于表里关系的第一外表面，所述第二基板具有与所述第二基面处于表里关系的第二外表面，在所述第一外表面上，设置有与所述第一贯穿电极相连接的第一布线，在所述第二外表面上，设置有与所述第二贯穿电极相连接的第二布线，所述第一布线具有与所述第二布线相同的电气特性。

应用例5

在本应用例所涉及的物理量传感器中，也可以采用如下方式，即，所述第一布线从所述第一基板的所述第一外表面上延伸至所述第一基板的侧面上，所述第二布线从所述第二基板的所述第二外表面上延伸至所述第二基板的侧面上。

应用例6