[发明专利]直线旋转式位移传感装置及其应用系统和控制方法

权利要求书

1.一种直线旋转式位移传感装置，其特征在于，包括：

旋转式位移传感器，所述旋转式位移传感器通过执行部件相对导轨的移动，以监测运动位移的数据；以及所述旋转式位移传感器上设置有

安装机座，该安装机座用于与被检测装置连接；

间隙弥补弹性元件，所述间隙弥补弹性元件设置在所述旋转式位移传感器的外壳与所述安装机座之间，用于弥补所述执行部件与所述导轨的间隙。

2.根据权利要求1所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述安装机座通过支撑导向光圆与所述旋转式位移传感器连接，所述间隙弥补弹性元件在导向光圆上。

3.根据权利要求2所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述支撑导向光圆穿过所述安装机座，并与设置在安装机座上的轴承连接。

4.根据权利要求3所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述轴承为直线轴承。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述间隙弥补弹性元件为间隙弥补弹簧。

6.根据权利要求1所述的所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述旋转式位移传感器内设置有编码器，所述编码器的输出轴与联轴器连接，所述联轴器与所述执行部件连接。

7.根据权利要求1或6所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述执行部件为齿轮，所述导轨为与所述齿轮啮合的齿条。

8.根据权利要求1所述的直线旋转式位移传感装置，其特征在于，所述安装机座上设置有插头套件。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的直线旋转式位移传感装置的应用系统，其特征在于，包括：

伺服减速系统；

移动平台，该移动平台与直线旋转式位移传感装置连接；

主控单元，用于控制所述伺服减速系统和所述直线旋转式位移传感装置。

10.根据权利要求9所述的直线旋转式位移传感装置应用系统的控制方法，其特征在于，包括：

步骤一、主控单元获取要求做直线移动的位移量，转换成机器语言，发送给直线旋转式位移传感装置；

步骤二、主控单元向伺服减速系统发出控制指令让伺服电机运动，由直线旋转式位移传感装置通过移动平台和伺服减速系统运动，实时监测运动位移；

步骤三、直线旋转式位移传感装置实时监测运动，符合要求则向主控单元发送运动到位指令，不符合要求则继续监测运动位移；

步骤四、当运动位移符合要求，直线旋转式位移传感装置迅速向主控单元发出指令，主控单元向伺服减速系统迅速发出指令，令伺服电机做出相应的动作；

步骤五、主控单元获取下一周期所需要数据，反复执行步骤一、步骤二、步骤三、步骤四，从而形成了反馈循环控制。