[发明专利]直线旋转式位移传感装置及其应用系统和控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及的是传感器技术领域，具体涉及一种直线旋转式位移传感装置及其应用系统和控制方法。

背景技术

现有位移传感器机构部分是将直线位移传感器齿条安装支撑座安装在固定机架上。如图1所示，包括直线式位移传感器齿轮101、运动起始端102、运动终止端103、运动平台104、直线式位移传感器齿条105。由于机加工和机装配的加工误差和装配误差，特别是装配误差难以保证，不可能将要安装齿条安装支撑座的机架平面加工和安装的绝对水平或是绝对垂直。

存在的加工和安装问题，就会造成直线位移传感器齿轮和齿条不能够完美的啮合，由于啮合问题存在就会令位移传感器监测误差很大，通过积累，误差就会越来越大，从而造成移动平台远离要求的位置，造成以直线位移传感器为基本元件的机器整体失败，从而失去了使用直线位移传感器的应用意义。

发明内容

针对现有技术上存在的不足，本发明提供一种直线旋转式位移传感装置，用于解决齿轮和齿条由于不能够完美啮合而产生的监测误差。

以及提供了直线旋转式位移传感装置的应用系统和控制方法

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：

一种直线旋转式位移传感装置，包括：

旋转式位移传感器，所述旋转式位移传感器通过执行部件相对导轨的移动，以监测运动位移的数据；以及所述旋转式位移传感器上设置有

安装机座，该安装机座用于与被检测装置连接；

间隙弥补弹性元件，所述间隙弥补弹性元件设置在所述旋转式位移传感器的外壳与所述安装机座之间，用于弥补所述执行部件与所述导轨的间隙。

根据本发明的一个实施例，所述安装机座通过支撑导向光圆与所述旋转式位移传感器连接，所述间隙弥补弹性元件在导向光圆上。

根据本发明的一个实施例，所述支撑导向光圆穿过所述安装机座，并与设置在安装机座上的轴承连接。

根据本发明的一个实施例，所述轴承为直线轴承。

根据本发明的一个实施例，所述间隙弥补弹性元件为间隙弥补弹簧。

根据本发明的一个实施例，所述旋转式位移传感器内设置有编码器，所述编码器的输出轴与联轴器连接，所述联轴器与所述执行部件连接。

根据本发明的一个实施例，所述执行部件为齿轮，所述导轨为与所述齿轮啮合的齿条。

根据本发明的一个实施例，所述安装机座上设置有插头套件。

一种直线旋转式位移传感装置的应用系统，包括：

伺服减速系统；

移动平台，该移动平台与直线旋转式位移传感装置连接；

主控单元，用于控制所述伺服减速系统和所述直线旋转式位移传感装置。

一种直线旋转式位移传感装置应用系统的控制方法，包括：

步骤一、主控单元获取要求做直线移动的位移量，转换成机器语言，发送给直线旋转式位移传感装置；

步骤二、主控单元向伺服减速系统发出控制指令让伺服电机运动，由直线旋转式位移传感装置通过移动平台和伺服减速系统运动，实时监测运动位移；

步骤三、直线旋转式位移传感装置实时监测运动，符合要求则向主控单元发送运动到位指令，不符合要求则继续监测运动位移；

步骤四、当运动位移符合要求，直线旋转式位移传感装置迅速向主控单元发出指令，主控单元向伺服减速系统迅速发出指令，令伺服电机做出相应的动作；

步骤五、主控单元获取下一周期所需要数据，反复执行步骤一、步骤二、步骤三、步骤四，从而形成了反馈循环控制。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明提供的一种直线旋转式位移传感装置及其应用系统和控制方法，充分弥补了由于直线位移传感器齿轮和齿条由于不能够完美的啮合而产生的监测误差；且直线旋转式位移传感装置结构简单，制造成本低廉。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式来详细说明本发明；

图1为现有直线旋转式位移传感装置运行示意图。

图2a为根据本发明一个实施例的直线旋转式位移传感装置正面示意图。

图2b为根据本发明一个实施例的直线旋转式位移传感装置侧面示意图。

图3为根据本发明一个实施例的旋转式位移传感装器的结构示意图。

图4为根据本发明一个实施例的旋转式位移传感装器应用系统的示意图。

图5为根据本发明一个实施例的旋转式位移传感装器应用系统的控制流程示意图。

具体实施方式