[发明专利]玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的干蚀刻机台及缺角检测方法

权利要求书

1.一种缺角检测装置，用于检测传送至进样室的玻璃基板是否存在缺角，该缺角检测装置包括两组缺角传感器和逻辑控制器，该两组缺角传感器分别位于该进样室的两侧，每一组缺角传感器均包括信号接收部和信号发送部，该两组缺角传感器对应于该玻璃基板的两边产生第一信号和第二信号，该逻辑控制器能够比对该第一信号和第二信号是否相同，若信号不同，则表示该玻璃基板存在缺角。

2.如权利要求1所述的缺角检测装置，其中：该缺角传感器为光感传感器。

3.如权利要求2所述的缺角检测装置，其中：该玻璃基板为透明或半透明。

4.如权利要求3所述的缺角检测装置，其中：该缺角传感器在该玻璃基板上有缺角处产生的信号强度大于该缺角传感器在该玻璃基板上无缺角处产生的信号强度，该逻辑控制器用以比对该第一信号和第二信号的强度是否相同。

5.如权利要求4所述的缺角检测装置，其中：该两组缺角传感器分别位于该进样室的腔门的两侧，该玻璃基板进入该进样室的过程中，该玻璃基板的长边邻近该两组缺角传感器。

6.如权利要求5所述的缺角检测装置，其中：该缺角检测装置还包括第三组缺角传感器，其位于该两组缺角传感器之间，该第三组缺角传感器包括信号接收部和信号发送部，并对应于该玻璃基板的第三边产生第三信号，该逻辑控制器能够比对该第一信号、第二信号和第三信号是否相同，若存在不同信号，则表示该玻璃基板存在缺角。

7.如权利要求6所述的缺角检测装置，其中：该第三组缺角传感器位于腔门的中间位置。

8.如权利要求1所述的缺角检测装置，其中：该逻辑控制器为PLC。

9.一种干蚀刻机台，其包括进样室、传送手臂及权利要求1至8中任一项所述的缺角检测装置。

10.如权利要求9所述的干蚀刻机台，其中：若该逻辑控制器进行比对的结果为各个信号相同，该传送手臂继续传送该玻璃基板，若该逻辑控制器进行比对的结果为存在不同信号，则该逻辑控制器发出使该传送手臂停止运动的指令。

11.如权利要求10所述的干蚀刻机台，其中：该逻辑控制器被设定为具有第一忽略时段、第二忽略时段和检测时段，在该第一、第二忽略时段中，该逻辑控制器对接收到的第一信号和第二信号不进行比对，在该检测时段中，该逻辑控制器对接收到的第一信号和第二信号进行比对，并根据比对结果执行相应的指令。

12.如权利要求11所述的干蚀刻机台，其中：该第一忽略时段为从该玻璃基板的被传送至该进样室后移动2ms的过程，该检测时段为该第一忽略时段之后该玻璃基板被传送至该进样室后移动90ms的过程，该第二忽略时段为该检测时段之后该玻璃基板被传送至该进样室后移动2ms的过程。

13.一种缺角检测方法，其利用权利要求1至8中任一项所述的缺角检测装置检测玻璃基板是否存在缺角，其包括以下步骤：

（1）由传送手臂将该玻璃基板传送入该进样室；

（2）该进样室的两侧的缺角传感器在该玻璃基板的两边产生信号，其中一侧的缺角传感器产生第一信号，另一侧的缺角传感器产生第二信号，该缺角传感器将将第一信号和第二信号发送给该逻辑控制器，由该逻辑控制器比对该第一信号和第二信号是否相同；及

（3）若该逻辑控制器进行比对的结果为信号相同，该传送手臂继续传送该玻璃基板，若该逻辑控制器进行比对的结果为信号不同，则该逻辑控制器发出使该传送手臂停止运动的指令。

14.如权利要求13所述的缺角检测方法，其中：该逻辑控制器被设定为具有第一忽略时段、第二忽略时段和检测时段，在该第一、第二忽略时段中，该逻辑控制器对接收到的第一信号和第二信号不进行比对，在该检测时段中，该逻辑控制器对接收到的第一信号和第二信号进行比对，并根据比对结果执行相应的指令。

15.如权利要求13所述的缺角检测方法，其中：该第一忽略时段为从该玻璃基板的被传送至该进样室后移动2ms的过程，该检测时段为该第一忽略时段之后该玻璃基板被传送至该进样室后移动90ms的过程，该第二忽略时段为该检测时段之后该玻璃基板被传送至该进样室后移动2ms的过程。