[发明专利]玻璃基板的缺角检测装置、具有该装置的干蚀刻机台及缺角检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板的缺角检测装置及缺角检测方法，特别是用于玻璃基板进入干蚀刻机台的过程中检测缺角的装置及方法。

背景技术

现有的干蚀刻机台，例如4.5世代的设备商TEL干蚀刻机台(DRY etcher)，其传送玻璃基板的方式是以传送手臂(Atmosphere Arm，A/A)将玻璃基板由卡夹取出后，放入真空进样室，随后进入机台的各反应室，进行相应工艺。

如图1示出了玻璃基板在真空进样室内的传送状态，玻璃基板1被传送手臂2输送至真空进样室内，由四个销3支撑。然而，玻璃基板在进入真空进样室前可能存在缺角，若存在缺角的玻璃基板被输送至真空进样室，则很可能无法被销支撑，从而造成位置偏移。

目前一般的干式制程机台仅能通过安装在传送手臂上的简易传感器感测玻璃基板是否存在，却无法有效检测玻璃基板是否有缺陷。

申请号为200410074085.4公开了一种玻璃基板边缘部分的破损检测装置及方法，其包括：确定玻璃基板完全通过传感器所需要的时间；或是各传感器接收的信号的脉冲进行计数，并将该时间或计数的脉冲个数与预订的基准值比较，从而判定基板有无破损。虽然该装置可检测玻璃基板的缺角，但必须在整个玻璃基板完全通过传感器后才能获得判断结果，造成基板输送过程的拖延，严重影响加工效率。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种玻璃基板的缺角检测装置及缺角检测方法，在玻璃基板进入机台的过程中快速检测出缺角的存在，提高传送效率。

本发明提供一种缺角检测装置，用于检测传送至进样室的玻璃基板是否存在缺角，该缺角检测装置包括两组缺角传感器和逻辑控制器，该两组缺角传感器分别位于该进样室的两侧，每一组缺角传感器均包括信号接收部和信号发送部，该两组缺角传感器对应于该玻璃基板的两边产生第一信号和第二信号，该逻辑控制器能够比对该第一信号和第二信号是否相同，若信号不同，则表示该玻璃基板存在缺角。

本发明还提供一种干蚀刻机台，其包括进样室、传送手臂及上述的缺角检测装置。

本发明还提供一种缺角检测方法，其利用上述的缺角检测装置检测玻璃基板是否存在缺角，其包括以下步骤：

（1）由传送手臂将该玻璃基板传送入该进样室；

（2）该进样室的两侧的缺角传感器在该玻璃基板的两边产生信号，其中一侧的缺角传感器产生第一信号，另一侧的缺角传感器产生第二信号，该缺角传感器将将第一信号和第二信号发送给该逻辑控制器，由该逻辑控制器比对该第一信号和第二信号是否相同；及

（3）若该逻辑控制器进行比对的结果为信号相同，该传送手臂继续传送该玻璃基板，若该逻辑控制器进行比对的结果为信号不同，则该逻辑控制器发出使该传送手臂停止运动的指令。

本发明的缺角检测装置能够在玻璃基板进入进样室的过程中快速检测出缺角的存在，并立即制止带缺角的玻璃基板继续进入机台内，避免带缺角的玻璃基板进入机台内导致异常传送，其能够及时发现并解决问题，提高传送效率。

附图说明

图1是玻璃基板在真空进样室内的传送状态示意图。

图2是具有本发明的缺角检测装置的干蚀刻机台的示意图。

图3是由本发明的缺角检测装置的两组缺角传感器产生的信号，此过程中未检测到缺角。

图4是由本发明的缺角检测装置的两组缺角传感器产生的信号，此过程中检测到缺角。

图5至图7是本发明的缺角检测装置所检测的缺角类型示意图。

图8是示出逻辑控制器的忽略区域和检测区域的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。