[发明专利]可固化的硅氧烷组合物、固化产品和半导体器件无效
申请号: | 201310123852.5 | 申请日: | 2013-04-10 |
公开(公告)号: | CN103214855A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 黄兵;陈良;郭洪有;方科;徐晨;张伟祥;金艳 | 申请(专利权)人: | 3M材料技术(广州)有限公司 |
主分类号: | C08L83/07 | 分类号: | C08L83/07;C08L83/05;H01L23/29 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王铁军 |
地址: | 510663 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固化 硅氧烷 组合 产品 半导体器件 | ||
1.一种可固化的硅氧烷组合物,所述组合物包含:
一种或多种每个分子含有2个以上乙烯基或丙烯基的有机聚硅氧烷A,所述有机聚硅氧烷A包含摩尔百分数为m的R1SiO3/2结构单元、摩尔百分数为n的R2R3SiO2/2结构单元和摩尔百分数为x的Ra4Rb5Rc6SiO1/2结构单元,其中R1表示苯基,R2和R3各自独立地表示甲基、苯基、甲氧基或乙氧基,R4和R5各自独立地表示甲基或苯基,R6表示乙烯基或丙烯基,a=0、1、或2;b=0、1或2;c=1;a+b+c=3;并且其中m,n和x以每摩尔有机聚硅氧烷A计且30%<m<80%;0≤n<40%;10%≤x≤60%;
一种或多种每个分子含有3个以上直接与硅原子连接的氢原子的有机聚硅氧烷B;
氢化硅烷化催化剂C,
其中,在所述组合物中,有机聚硅氧烷A的含量为49.95重量%以上且86.95重量%以下,有机聚硅氧烷B的含量为13.0重量%以上且50.0重量%以下,并且氢化硅烷化催化剂C的含量为0.01ppm以上且500ppm以下。
2.根据权利要求1所述的组合物,其中所述有机聚硅氧烷B为:
每个分子含有3个以上直接与硅原子连接的氢原子并且含有其中R1表示苯基的R1SiO3/2结构单元的有机聚硅氧烷;
每个分子含有3个以上直接与硅原子连接的氢原子并且不含其中R1表示苯基的R1SiO3/2结构单元的直链有机聚硅氧烷;或
它们的组合。
3.根据权利要求1所述的组合物,其中所述有机聚硅氧烷B为由下式表示的有机聚硅氧烷:
其中R7表示甲基,乙基,丙基,环己基或苯基,p和q各自独立地表示0~100的整数,p+q>3,x和y各自独立表示1或2,且x+y+p≥3。
4.根据权利要求1所述的组合物,其中所述有机聚硅氧烷B为包含摩尔百分数为k的R1SiO3/2结构单元、摩尔百分数为r的R2R3SiO2/2结构单元和摩尔百分数为y的Ra4Rb5HSiO1/2结构单元的有机聚硅氧烷,其中R1表示苯基,R2和R3各自独立地表示甲基、苯基、甲氧基或乙氧基,R4和R5各自独立地表示甲基或苯基,a=0、1、或2;b=0、1、或2;a+b=2;并且其中k,r和y以每摩尔有机聚硅氧烷B计且30%<k<80%;0≤r<40%;10%≤y≤60%。
5.根据权利要求1所述的组合物,其中所述氢化硅烷化催化剂C为光激活催化剂或热激活催化剂。
6.根据权利要求5所述的组合物,其中用于激活所述光激活催化剂的辐射光的波长小于700nm。
7.根据权利要求5所述的组合物,其中用于激活所述光激活催化剂的辐射光的波长为240~380nm。
8.根据权利要求5所述的组合物,其中所述氢化硅烷化催化剂C是基于铂族金属的催化剂。
9.根据权利要求1所述的组合物,所述组合物还包含附着促进剂。
10.一种通过将根据权利要求1所述的组合物固化而得到的固化产品。
11.根据权利要求10所述的固化产品,其中在所述固化产品中的其中Ph代表苯基的PhSiO3/2结构单元的含量为0.38mol/100g至0.58mol/100g。
12.一种包括根据权利要求10所述的固化产品的半导体器件。
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