[发明专利]浮动催化法制备碳纳米管薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310124387.7 | 申请日： | 2013-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN104098079A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 袁健飞;陆海峰 | 申请（专利权）人： | 袁健飞 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212008*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 浮动 催化 法制 纳米 薄膜 方法 | ||
1.一种浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，其特征在于：
包括以下步骤：
(1)选取石英作为基底
(2)制备前驱体；
(3)前驱体和碳源注入到反应器中；
(4)通过无模板的化学气相沉积法生成碳纳米管薄膜。
2.如权利要求1所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：步骤(1)所述的石英基底用去离子水清洗后用无水乙醇超声清洗17min。
3.如权利要求1所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：步骤(2)具体步骤为：将二茂铁溶解在碳源中，超声分散，形成黄色透明的溶液。
4.如权利要求1所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：步骤(2)具体步骤为：所述的二茂铁浓度为0.015g/ml-0.025g/ml。
5.如权利要求3所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：所述的碳源为甲苯或二甲苯。
6.如权利要求1所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：步骤(3)所述的前驱体注入点温度为250℃；注射速率7.5ml/h；输入点距炉端的距离为25cm。
7.如权利要求1所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：步骤(4)具体步骤为：(a)在850℃时，在载气的携带下，碳源和催化剂到达反应区；二茂铁在高温下分解形成的Fe纳米颗粒部分落在石英衬底上；所述的载气为1000/200(Ar/H2)sccm；
(b)反应60min后，停止前驱体的进给，将载气调整为100sccm Ar气，使气氛炉在心气保护下降温到300℃以下；
(c)石英片取出，在其表面上有一层黑色碳沉积物。
8.如权利要求7所述的浮动催化法制备纳米碳管薄膜的方法，特点在于：所述的催化剂和碳源的供给是连续的。
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