[发明专利]真空蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空蒸镀装置。

背景技术

近年来，有机EL元件作为新的产业领域一直备受关注。期待有机EL显示器作为代替液晶显示器、等离子体显示器的下一代显示器，并期待有机EL照明作为与LED照明并列的下一代照明。

有机EL元件的构造是利用由阳极和阴极构成的电极对夹着层叠有由有机化合物构成的发光层、空穴注入层、空穴输送层、电子输送层、电子注入层等的多层构造。通过对电极施加电压，从阳极侧向发光层注入空穴，从阴极侧向发光层注入电子，利用它们再结合而产生的激子（exciton，激发性电子）的失活而进行发光。

形成发光层的有机材料中有高分子材料和低分子材料。其中，作为现在主流的低分子材料，通过真空蒸镀而成膜。在形成其它层时也采用真空蒸镀。为了提高性能，还进行共蒸镀的掺杂质、合金化（专利文献1）。

真空蒸镀使用的蒸发源具有：封入蒸镀材料的坩埚、喷出蒸镀材料的喷嘴、加热坩埚的加热器、容纳坩埚、喷嘴和加热器等的壳体。使蒸镀材料从由加热器加热的坩埚蒸发或升华，从喷嘴向设置于真空腔室内的基板上喷射气化的蒸镀材料而形成各层。为了制作彩色显示的有机EL元件，在将基板和金属掩膜对准的状态下，按照像素分涂进行不同发光的有机EL材料而成膜。

有机EL元件随着显示器件、照明器件的大型化，要求基板尺寸大型化。可以预见，基板尺寸从现状的第4.5代生产线（玻璃基板尺寸：730mm×920mm）向以基板尺寸计为2.9倍的第5.5代生产线（基板尺寸为1300mm×1500mm）扩大，并可能进一步达到第8代生产线（玻璃基板尺寸：2200mm×2500mm）。

为了对应基板尺寸的大型化，线状的蒸发源或平面状的蒸发源等各种方式的蒸发源得以实用化。从对于基板尺寸的可扩展性（scalability）的观点来看，相比平面状蒸发源，更优选线状蒸发源。线状蒸发源能够通过向与其长度方向垂直的方向沿着基板进行相对移动而在基板上形成均匀的薄膜。线状蒸发源有具有多个喷嘴的整体式的线性蒸发源、将多个具有多个喷嘴的蒸发源单元沿长度方向设置为线状的多蒸发源等方式。

线状蒸发源在其长度方向的尺寸大致为基板尺寸的情况下，可以通过单向扫描在基板整个面上进行成膜。在其长度方向的尺寸比基板尺寸小的情况下，可以通过在去路和回路之间沿长度方向以一定间距（pitch）进行移动而在基板整个面上成膜。

现有技术文献：

专利文献

专利文献1：（日本）特许第3741842号公报

发明内容

发明要解决的课题

在共蒸镀中，在相同的真空腔室中设置多个蒸发源，在不同的蒸发源内配置不同的材料。在利用线状蒸发源进行共蒸镀的情况下，例如，考虑将多个线状蒸发源沿着成膜方向配置成多级。但是，当以这种结构进行往返式成膜时，在去路和回路中，成膜顺序颠倒。因此，在去路和回路上，在不同的基板部位进行成膜时，存在基板面内组成比率不同的课题。对此，下面对本发明的解决方案进行叙述。

用于解决课题的技术方案

用于解决上述课题的本发明的特征如下。一种真空蒸镀装置，其在基板上成膜蒸镀材料，其中，具有以使多个线状蒸发源相对于成膜方向对称的方式配置的蒸发源组，上述蒸发源组相对于上述基板向第一方向移动并对上述基板成膜后，相对于上述基板向作为上述第一方向的反方向的第二方向移动并对上述基板成膜。

本发明的真空蒸镀装置以根据蒸镀材料的种类而准备的多个线状蒸发源相对于成膜方向（及其反方向）为对称的方式配置，能够在去路和回路上不改变成膜顺序地形成共蒸镀膜。因此，通过对于第一方向进行往返成膜，在去路和回路之间大致正交的第二方向沿着基板面进行移动，在去路和回路上在不同的基板位置成膜的情况下，能够使组成比率均匀，因此，能够在更大型的基板上成膜膜厚和组成都均匀的共蒸镀膜。

附图说明

图1是实施例1中的真空蒸镀装置的真空腔室内的结构；

图2是表示实施例1的蒸发源的配置和移动路径的示意图＜1＞；

图3是表示实施例1的蒸发源的配置和移动路径的示意图＜2＞；

图4是表示实施例1的蒸发源的配置和移动路径的示意图＜3＞；

图5是表示实施例1的蒸发源的配置和移动路径的示意图＜4＞；

图6是表示实施例2的蒸发源的配置和移动路径的示意图；

图7是实施例3的真空蒸镀装置的真空腔室内的结构；

图8是表示实施例3的蒸发源的配置和移动路径的示意图；