[发明专利]用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体有效
申请号: | 201310128539.0 | 申请日: | 2013-04-15 |
公开(公告)号: | CN103205716A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 小岛岳;秦燕詒;小林一博;唐健 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12;B22F3/16 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 防污 材料 吸附 载体 | ||
1.一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述吸附载体是金属粉末的烧结体,所述的金属粉末选自铁、不锈钢、铜、铝中的一种或至少两种。
2.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述金属粉末的粒径为1μm—100μm。
3.根据权利要求2所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述金属粉末的优选粒径为1μm—10μm。
4.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述金属粉末为铁粉和铜粉的混合物。
5.根据权利要求4所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:其中铜粉占混合物重量百分比的25%—35%,其余为铁粉。
6.根据权利要求4或5所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述铜粉的粒径不大于所述铁粉的粒径。
7.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述烧结体的孔隙率为40%—70%。
8.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述烧结体的热传导率为1W/m.K—200W/m.K。
9.根据权利要求1所述的一种用于蒸镀防污膜的蒸镀材料的吸附载体,其特征在于:所述的烧结体为圆饼状。
10.一种如权利要求1-9所述的一种吸附载体的生产方法,其特征在于:所述方法是将作为原料的金属粉末以0ton/cm2-—15ton/cm2的压力夯实,再经过0.5h-—5h的烧结后的烧结体,该烧结体为多孔质体,即为所述吸附载体。
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