[发明专利]通过激光焊接与石英管安装环一体制作的歧管及制造方法

权利要求书

1.一种与石英管安装环一体制作的歧管，其在半导体制造工序中被设置于反应腔室的下端而对所述反应腔室进行气体的供给及排出，所述歧管的特征在于，包括：

歧管主体（100）；

石英管安装环（200），所述石英管安装环为环状，且以同心圆状水平设置于所述歧管主体（100）的内周面而提供待安装在反应腔室的内部设置的石英管（400）的座面，并且在外周面具备隔着一定间隔突出形成的多个嵌扣件（210）；

凸缘部（120），在所述歧管主体（100）的内周面的周向上具备所述凸缘部而提供待设置所述石英管安装环（200）的座面；

多个卡止突起（110），在所述歧管主体（100）的内周面的凸缘部（120）的上方，与所述凸缘部（120）相隔一定高度且隔着一定间隔形成有所述多个卡止突起，从而提供随着安装于所述凸缘部（120）的上表面的石英管安装环（200）以一定角度旋转而石英管安装环（200）的嵌扣件（210）沿着水平方向嵌扣的空间，其中，所述卡止突起的个数与所述石英管安装环（200）的各嵌扣件（210）个数相对应；及

多个连结片（300），在所述石英管安装环（200）的各嵌扣件（210）被嵌扣到所述凸缘部（120）与各卡止突起（110）之间的空间的状态下，所述多个连接片通过将所述各嵌扣件（210）之间进行连结而填补未形成有所述嵌扣件（210）的石英管安装环（200）的外周面与未形成有所述卡止突起（110）的歧管主体（100）的内周面之间的空隙，

设置于所述歧管主体（100）的凸缘部（120）上的石英管安装环（200）和多个连结片（300）通过焊接而一体固定设置于所述歧管主体（100）上。

2.根据权利要求1所述的与石英管安装环一体制作的歧管，其特征在于，

所述石英管安装环（200）的嵌扣件（210）和形成于所述歧管主体（100）的内周面的卡止突起（110）呈具有相同的圆弧长度的弧状，所述连结片（300）呈具有将所述石英管安装环（200）的各嵌扣件（210）之间的整个空间进行连结的圆弧长度的弧状。

3.根据权利要求1所述的与石英管安装环一体制作的歧管，其特征在于，

在所述石英管安装环（200）的其中一面上，沿着整个周向形成有以一定深度凹陷的安装沟槽（220），所述石英管（400）的下端面被安装于所述安装沟槽（220）中。

4.根据权利要求3所述的与石英管安装环一体制作的歧管，其特征在于，

在所述安装沟槽（220）的上端，沿着所述安装沟槽（220）的整个周向形成有越朝上部直径越大的倾斜面（230），当将所述石英管（400）置于所述石英管安装环（200）的安装沟槽（220）时，所述石英管（400）顺着所述倾斜面（230）定位于所述安装沟槽（220）中。

5.根据权利要求1所述的与石英管安装环一体制作的歧管，其特征在于，

所述歧管主体（100）、所述石英管安装环（200）及所述连结片（300）由不锈钢即SUS材质构成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的与石英管安装环一体制作的歧管的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：

沿着所述石英管安装环的各嵌扣件不与所述歧管的各卡止突起干扰的方向，将所述石英管安装环沿从上朝下的方向安装于所述歧管的凸缘部的步骤（S110）；

在所述石英管安装环被安装于所述歧管的凸缘部的状态下，使所述石英管安装环以一定角度水平旋转而使所述石英管安装环的各嵌扣件嵌扣到所述凸缘部与卡止突起之间的空间的步骤（S120）；

在所述石英管安装环的嵌扣件被嵌扣到所述凸缘部与卡止突起之间的空间的状态下，利用所述各连结片将所述石英管安装环的各嵌扣件之间的空间进行连结的步骤（S130）；及

在所述石英管安装环的各嵌扣件之间的空间被所述各连结片相互连结的状态下，通过焊接将所述各连结片和石英管安装环一体固定结合于歧管上的步骤（S140）。

7.根据权利要求6所述的与石英管安装环一体制作的歧管的制造方法，其特征在于，

所述焊接是使用不锈钢即SUS材质的焊接母材来进行的激光焊接。

8.根据权利要求7所述的与石英管安装环一体制作的歧管的制造方法，其特征在于，

所述激光焊接是隔着一定时间和空冷时间连续进行3次。

9.根据权利要求8所述的与石英管安装环一体制作的歧管的制造方法，其特征在于，

第1次焊接的焊接厚度及焊接深度为2.26mm及2.29mm，第2次焊接的焊接厚度及焊接深度为1.27mm及1.27mm，第3次焊接的焊接厚度及焊接深度为0.51mm及0.43mm。