[发明专利]通过激光焊接与石英管安装环一体制作的歧管及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造用歧管，更详细而言，涉及一种在半导体制造工序中待安装石英管的石英管安装环通过激光焊接而一体制作在歧管上的石英管安装环一体型歧管及其制造方法。

背景技术

作为用于制造半导体元件的热处理工序有：用于对硅表面进行氧化的氧化工序；用于使杂质扩散的扩散工序；在半导体基板上蒸镀规定物质的化学气相蒸镀工序；及以均匀扩散、再结晶等为目的进行的退火（annealing）工序等。为了执行如上半导体制造工序，必须使用高温炉（furnace）。

使用高温炉来进行的通常的扩散工序是对晶片进行加热来进行的，但因此时施加的高温热，对象晶片上会产生致命缺陷。

因此，最近广泛利用如下补救措施：利用石英管（QUARTZ TUBE），以包围对象晶片的状态在高温炉中进行扩散工序，从而防止晶片上有可能产生的缺陷。

另一方面，在高温炉中，供气管和排气管以歧管（或内管）为媒介而与反应腔室连结，该歧管（或内管）通过固定凸缘之类的机构而连结于反应腔室的下端。

在此，石英管是内部中空且长度较长的圆筒状，其在歧管的内侧与歧管呈同心圆状配置且在高温炉内部垂直设置。

关于此，韩国公开专利公报公开号第10-2007-0060252号（专利文献1）中公开了石英管（反应管）以安装于歧管的状态设置于高温炉内部的结构。

所述专利文献1中没有明确地公开石英管安装于歧管上的结构，其中记载着以同心圆状垂直配置于歧管上的石英管被安装于在歧管的内周面上设置的石英管安装环的上表面。

关于此，图1a及图1b中示出了上述以往的歧管和设置于歧管的内周面上的石英管安装环的构造。图1a是表示石英管安装环被设置于歧管之前的分解状态的分解立体图，图1b是表示石英管安装环与歧管结合之后的状态的结合立体图。

如图1a及图1b所示，石英管安装环20是与歧管主体10分体制作的，具有嵌扣固定于歧管主体10的内周面上的构造。

为此，呈环形态的石英管安装环20中，在其外周面隔着一定间隔形成多个以一定长度突出形成的嵌扣件21。并且，在歧管主体10的内周面，沿着歧管主体10的内侧整周形成提供待安装石英管安装环20的安装面的凸缘部12，在凸缘部12的上表面以与嵌扣件21相对应的个数及位置形成多个待嵌扣固定石英管安装环20的嵌扣件21的卡止突起11。

由此具有如下构造：若在石英管安装环20的各嵌扣件21不与形成于歧管主体10的内侧的各卡止突起11发生干扰的位置上，在将石英管安装环20沿着从歧管主体10的上方朝向下方的方向安装于凸缘部12的上表面的状态下使其以一定角度旋转，则会以石英管安装环20的嵌扣件21嵌扣到凸缘部12的上表面与卡止突起11的下表面之间的空间的方式完成嵌扣固定。

然而，这种石英管安装环20被嵌扣固定到歧管主体10上的以往固定构造中，在石英管安装环20已被嵌扣固定于歧管主体10的状态下，由于歧管主体10的内周面与石英管安装环20的外周面之间的间隙（图1b的′A′）、即未形成有嵌扣件21的石英管安装环20的外周面与未形成有卡止突起11的歧管主体10的内周面之间的空间而会产生间隙（图1b的′A′），进行扩散工序时产生的微细异物（烟雾、微粒等）浸入并沉积于这种间隙中，因此存在工序中发生产品品质不良的问题。

另外，关于石英管安装环20，形成于其外周面的嵌扣件21被嵌扣到歧管主体10的凸缘部12与卡止突起11之间的空间，从而能够进行向左右方向的移动而限制向上部的移动，因此在歧管主体10的内部发生向左右方向的游击即晃动。由此安装于石英管安装环20的石英管（未图示）在工序中也发生向左右方向的晃动，因此存在发生产品品质不良的问题。

专利文献1：韩国公开专利公报公开号第10-2007-0060252号（2007.07.16.公开）

发明内容

本发明是为了解决这种问题而完成的，其目的在于提供一种石英管安装环一体型歧管及其制造方法，其原封不动地利用了以上述以往构造预先制作完的歧管主体和石英管安装环的构造而未对其设计进行改变，在将石英管安装环设置于歧管主体时，消除石英管安装环与歧管主体之间的间隙并且使石英管安装环在歧管主体上无晃动，从而在工序中能够防止产品品质不良。

另外，本发明的目的在于提供一种石英管安装环一体型歧管及其制造方法，其在通过焊接将石英管安装环与歧管主体一体化制作时，使石英管安装环与歧管主体的结合部位变得平滑，不用说外观上的美学质量，还能够提高待安装石英管的石英管安装环的安装面的平坦度。