[发明专利]光学器件、光扫描仪以及图像显示装置

权利要求书

1.一种光学器件，其特征在于，

所述光学器件具备能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与所述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、以相对于所述框体部能够绕着所述第1轴摆动的方式支承所述可动部的第1轴部、和被配置于所述框体部的永磁铁，

所述可动部具有基部和光反射板，所述光反射板被固定于所述基部并设置有具有光反射性的光反射部，

所述框体部包围所述基部而被设置，

所述第1轴部的一端部与所述基部连接，所述第1轴部的另一端部与所述框体部连接，

所述光反射板被设置成在厚度方向与所述第1轴部分离，

所述永磁铁被固定于所述框体部的所述光反射板侧的面，所述框体部的与所述光反射板相反侧的面，和所述基部的与所述光反射板相反侧的面沿着相同的面形成，

在从所述框体部的厚度方向观察时，所述永磁铁的一个磁极与另一个磁极夹着所述第2轴而配置，并且所述永磁铁的一个端部被配置在所述第1轴上，

所述光反射板隔着隔垫物被固定于所述基部，

所述永磁铁被设置成从所述光反射板的厚度方向观察时不与所述隔垫物重叠，

所述隔垫物由SiO₂层以及Si层所构成的层叠体构成。

2.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述基部、所述框体部和所述第1轴部使用SOI基板的器件层而形成，

所述光反射板被设置于所述SOI基板的处理层侧。

3.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述永磁铁包括隔着所述隔垫物对置的一对永磁铁。

4.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

在所述框体部上形成有向所述光反射板侧突出的肋。

5.根据权利要求4所述的光学器件，其特征在于，

所述永磁铁被固定于所述肋的顶面。

6.根据权利要求4所述的光学器件，其特征在于，

所述肋被形成于从所述框体部的厚度方向观察时不与所述永磁铁重叠的区域。

7.根据权利要求6所述的光学器件，其特征在于，

所述肋被形成为限制所述永磁铁在与所述框体部的厚度方向垂直的方向上的移动。

8.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板被设置成从厚度方向观察时与所述第1轴部的至少一部分重叠。

9.根据权利要求8所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板被形成为从其厚度方向观察时覆盖所述第1轴部的整体。

10.根据权利要求9所述的光学器件，其特征在于，

所述光反射板形成为从其厚度方向观察时覆盖所述框体部的整体。

11.根据权利要求10所述的光学器件，其特征在于，

所述光学器件具有第2轴部，所述第2轴部的一端部与所述框体部连接并且以能够绕着所述第2轴摆动的方式支承所述框体部，

所述光反射板被形成为从其厚度方向观察时覆盖所述第2轴部的整体。

12.根据权利要求1所述的光学器件，其特征在于，

所述光学器件具有与所述框体部对置地配置的线圈和对所述线圈施加电压的电压施加单元，

所述永磁铁从所述框体部的厚度方向观察时，在相对于所述第1轴以及第2轴倾斜的方向被磁化，

所述电压施加单元向所述线圈施加将第1频率的第1电压和频率与所述第1频率不同的第2频率的第2电压叠加后的电压，

所述光学器件被构成为使所述可动部以所述第1频率绕着所述第1轴摆动并以所述第2频率绕着所述第2轴摆动。

13.根据权利要求12所述的光学器件，其特征在于，

所述永磁铁呈长条形状，在其长度方向上被磁化。