[发明专利]光学器件、光扫描仪以及图像显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及光学器件、光扫描仪以及图像显示装置。

背景技术

例如作为用于投影仪等的光学器件，已知有对光进行二维扫描的光扫描仪（例如，参照专利文献1）。

例如，专利文献1所记载的光扫描仪具有：框状的驱动部件；将驱动部件支承成能够绕着X轴转动的一对第1轴部件；设置于驱动部件的内侧，并具备光反射部的可动板；和将可动板支承成相对于驱动部件能够绕着与X轴正交的Y轴转动的一对第2轴部件。

另外，该光扫描仪具有设置于驱动部件的永磁铁、与永磁铁对置地设置的线圈、和对该线圈施加电压的电压施加单元，连接永磁铁两极的线段在俯视时相对于X轴以及Y轴各自的轴倾斜。

并且，通过电压施加单元将频率相互不同的第1电压和第2电压叠加并施加给线圈，从而使可动板以第1电压的频率绕着X轴转动，并以第2电压的频率绕着Y轴转动。由此，能够对被可动板的光反射部反射的光进行二维扫描。

然而，在专利文献1所记载的光扫描仪中，存在如下的问题，即、由于第1轴部件直接连接在设置有光反射部的可动板的侧面上，所以在可动板转动时，因第1轴部件的扭转变形所产生的应力影响可动板，可动板发生了挠曲，其结果不能准确地扫描光。

专利文献1：日本特开2008-216920号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够抑制光反射板的挠曲并对光进行二维扫描的光学器件、光扫描仪以及图像显示装置。

这样的目的通过下述的本发明达成。

本发明的光学器件的特征在于，具备能够绕着第1轴摆动的可动部、能够绕着与上述第1轴交叉的第2轴摆动的框体部、以相对于上述框体部能够绕着上述第1轴摆动的方式支承上述可动部的第1轴部、和被配置于上述框体部的永磁铁，上述可动部具有基部和光反射板，所述光反射板被固定于上述基部并设置有具有光反射性的光反射部，上述框体部包围上述基部而被设置，上述第1轴部的一端部与上述基部连接，另一端部与上述框体部连接，上述光反射板被设置成在厚度方向与上述第1轴部分离，上述永磁铁被固定于上述框体部的上述光反射板侧的面。

根据像这样构成的光学器件，能够使可动部绕着第1轴以及第2轴摆动。因此，能够对被光反射部反射的光进行二维扫描。

特别是，光反射板被设置成在厚度方向与第1轴部分离，所以能够降低光反射板的挠曲。

在本发明的光学器件中，优选上述基部、上述框体部和上述第1轴部使用SOI基板的器件层而形成，上述光反射板被设置于上述SOI基板的处理层侧。

由此，能够使包括基部、框体部、第1轴部以及第2轴部的构造体的与光反射板相反侧的面成为平坦面。因此，在对框体部设置永磁铁时，以及对基部设置光反射板时，能够使用简单构成的夹具来支承框体部以及基部。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板隔着隔垫物被固定于上述基部，上述永磁铁被设置成从上述光反射板的厚度方向观察时不与上述隔垫物重叠。

由此，能够防止与第1轴部、框体部、第2轴部以及永磁铁的接触，并能够使光反射板摆动。

在本发明的光学器件中，优选上述永磁铁包括隔着上述隔垫物对置的一对永磁铁。

由此，能够使框体部顺利地绕着第2轴摆动。

在本发明的光学器件中，优选上述框体部上形成有向上述光反射板侧突出的肋。

由此，能够提高框体部的刚性。另外，肋向光反射板侧突出，所以能够将框体部的与光反射板相反侧的面、和基部的与光反射板相反侧的面沿着相同的面形成。因此，在对框体部设置永磁铁时以及对基部设置光反射板时，能够使用简单构成的夹具来支承框体部以及基部。

在本发明的光学器件中，优选上述永磁铁被固定于上述肋的顶面。

由此，能够防止基部与永磁铁接触，并能够使可动部绕着第1轴摆动。

在本发明的光学器件中，优选上述肋被形成于从上述框体部的厚度方向观察时与上述永磁铁不重叠的区域。

由此，能够使绕着第2轴的振动系统的重心接近第2轴。其结果，能够使光反射板顺利地绕着第2轴摆动。

在本发明的光学器件中，优选上述肋被形成为限制上述永磁铁在与上述框体部的厚度方向垂直的方向上的移动。

由此，能够使对框体部设置永磁铁变得容易。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板被设置成从厚度方向观察时与上述第1轴部的至少一部分重叠。

由此，能够实现光学器件的小型化。

在本发明的光学器件中，优选上述光反射板被形成为从其厚度方向观察时覆盖上述第1轴部的整体。