[发明专利]测试分选机用拾放装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在测试分选机中拾取半导体元件之后将其移送到所要求的位置的拾放装置。

背景技术

测试分选机是这样一种设备：将经过预定的制造工艺而制造的半导体元件从客户托盘装载到测试托盘之后，支持装载于测试托盘的半导体元件能够被测试器测试，并根据测试结果将半导体元件按等级分类而重新从测试托盘卸载到客户托盘。这种设备已通过多个公开文件被公开。

测试分选机不仅具备如上所提到的客户托盘、测试托盘，还具备诸如设置于装载部的校准器（aligner）或保管并载置多余的半导体元件的缓冲区（buffer）、机动型装载台、分拣台（sorting table）等的用于载置并排列半导体元件的多个载置单元或排列单元。

本发明涉及一种为了在如上所述的互不相同的单元（客户托盘、测试托盘、校准器、缓冲区、机动型装载台、分拣台）中的任意两个单元之间移送半导体元件，从一侧的单元拾取半导体元件之后将该半导体元件移送到另一侧的单元的拾放装置(pick and place apparatus)。通常情况下，拾放装置设置于装载部时，其也称作装载器或装载手，而当设置于卸载部时，也称作卸载器或卸载手。

目前为止所公开的拾放装置为了拾取半导体元件而具有以2×4、1×8、2×8或者4×8行列形态排列的8个、16个或32个拾取器（picker）。在此，拾放装置中具备多个行的拾取器的原因在于，为了通过增加在一次移送中所能够移送的半导体元件的数量来缩短装载或卸载所需的时间。通常情况下，考虑到一次移送处理容量和拾取器的轻量化以及小型化，主要采用2×8行列的结构。而且，此时，两个拾取器组成一个组而构成一个拾取器模块（例如，对于4×8行列形态的情形而言，四个拾取器组成一个组而构成一个拾取器模块）。

通常，客户托盘的目的在于通过载置而保管半导体元件，因此为了尽可能多地拾取半导体元件，被设置成使得被拾取的半导体元件之间的间距为最小，而测试托盘被设置成相比在客户托盘，半导体元件之间的间距具有更宽的间距，以确保被载置的半导体元件之间具有测试所需的间距。即，相比于客户托盘中的半导体元件之间的间距，测试托盘中的半导体元件之间的间距设置为更宽。因此，将半导体元件从客户托盘装载到测试托盘时，或者从测试托盘卸载到客户托盘时，需要调整半导体元件之间的间距。进一步来讲，不仅在客户托盘或测试托盘，而且在校准器或缓冲区、机动型装载台、分拣台等的多个载置单元之间存在半导体元件的移动时，也有必要根据要求来调整半导体之间的间距。

这种半导体元件的间距的调整通过拾放装置进行。即，具体实现为，依靠拾放装置在一侧的载置单元中拾取半导体元件之后，将半导体元件之间的间距调整为所要求的间距，然后将半导体元件移送到另一侧的载置单元中而进行载置。

因此，拾放装置具有用于调整拾取器模块之间的间距的构成。

在拾放装置中调整半导体元件之间的间距的方式有采用板状的凸轮的凸轮方式（参照韩国公开专利10-1999-0038981号）和将拾取器模块用连杆进行连接的连杆方式（参照韩国授权专利10-0648919号），而本发明有关于凸轮方式。

对于凸轮方式而言，由于在待测试的半导体元件的大小发生变化时，半导体之间的最大间距或最小间距也会发生变化，因而伴随需要更换凸轮的不便之处。然而，当要更换凸轮时，由于拾放装置设置于测试分选机的内部，因此其更换作业存在不便之处。而且，当从结合于凸轮的左右的线性运动（Linear Motion，LM）块分离出凸轮时，线性运动块因自重而朝线性导轨的下方移动，从而有可能脱离，此时，构成线性块的钢珠发生脱落而有可能降低其功能。而且，若重新被更换的凸轮不能恰当地结合到线性运动块（例如，失衡地结合到线性运动块），则线性运动块在线性移动导轨上移动时，发生过载现象而不能顺畅地动作，或者容易引起故障。

因此，为了解决伴随如上的凸轮更换操作而产生的问题，提出有诸如韩国授权专利10-0622415号（发明名称：“半导体元件测试分选机的元件移送装置”，以下称为“现有技术”）的技术。

在现有技术中，设置成可以利用伺服电机来任意地调整拾放装置（在现有技术中被命名为“元件移送装置”）所拾取的半导体元件之间的最小间距和最大间距，据此即使待测试的半导体元件的大小发生变化，也无需更换凸轮。