[发明专利]一种连续真空生产线双腔转换室抽气系统

权利要求书

1.一种连续真空生产线双腔转换室抽气系统，其特征在于，包括工件入口、第一密封腔体、第一抽气装置、第二密封腔体和第二抽气装置，所述工件入口位于所述第一密封腔体的一侧，所述第一抽气装置与所述第一密封腔体连通，所述第二密封腔体与所述第二抽气装置连通，所述第一密封腔体内间隔分布有多个辊道，所述第二密封腔体由多个位于所述辊道间隔位置处的密封空间相互串联构成。

2.根据权利要求1所述的连续真空生产线双腔转换室抽气系统，其特征在于，所述第一抽气装置与所述第二抽气装置相联动。

3. 根据权利要求2所述的连续真空生产线双腔转换室抽气系统，其特征在于，当所述工件入口打开前，关闭所述第一密封腔体与所述第一抽气装置的连接，并同步关闭所述第二密封腔体与所述第一密封腔体的连接。

4. 根据权利要求2所述的连续真空生产线双腔转换室抽气系统，其特征在于，工件从所述工件入口装入后，关闭所述工件入口，打开所述第一密封腔体与所述第一抽气装置的连接，并打开第二密封腔体与所述第一密封腔体的连接，所述第一抽气装置和所述第二抽气装置共同运作。