[发明专利]可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法无效
| 申请号： | 201310146436.7 | 申请日： | 2013-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103245983A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王多书;王济洲;熊玉卿;董茂进;王超;张玲;李晨 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;郭德忠 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 可见 红外 反射 多谱段 透过 分色 制备 方法 | ||
1.一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片，其特征在于：所述分色片包括硒化锌基底和基底一侧的膜系；
膜系包括交替叠加的硫化锌膜层和氟化钇膜层，结构为：（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5h）^12，中心波长为890nm；h为硫化锌膜层，0.3h代表硫化锌膜层厚度为0.3个基本厚度，0.38h代表硫化锌膜层厚度为0.38个基本厚度，0.5h代表硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，l为氟化钇膜层，0.6l代表氟化钇膜层厚度为0.6个基本厚度，0.76l代表氟化钇膜层厚度为0.76个基本厚度，l代表氟化钇膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一；基本膜堆（0.3h0.6l0.3h）和基本膜堆（0.38h0.76l0.38h）的周期数为10，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数为12。
2.根据权利要求1所述的一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片，其特征在于：基底一侧的膜系如表1所示，其中，层数为1的膜层为膜系的最外层，层数为63的膜层沉积在硒化锌基底上，为膜系的最内层；
表1膜系
。
3.一种如权利要求1或2所述的可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片的制备方法，其特征在于：所述方法步骤如下：
（1）将干净的基底装入清洁的真空室中，抽真空至≤3×10-5Torr；
（2）将基底加热到200℃，并保持30min；
（3）用离子束轰击清洗基底10min，离子源工作气体为氩气，气体流量为17sccm，离子源型号为霍尔源型的CC-105；
（4）采用离子束辅助的电子枪蒸发法，在基底的一侧逐层交替沉积膜系中的硫化锌膜层和氟化钇膜层，直至完成沉积；硫化锌膜层的沉积速率为2.0nm/s，氟化钇膜层的沉积速率为0.8nm/s，离子源工作气体为氩气，气体流量为17sccm，离子源型号为霍尔源型的CC-105，膜层厚度的监控方式采用石英晶体膜厚控制仪监控；
（5）基底自然冷却至室温，得到可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片。
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