[发明专利]可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法，具体地说，所述分色片在0.43～0.90μm谱段具有高反射率，在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm谱段均具有高透过率；属于表面技术领域。

背景技术

分色片是目前空间相机及其他成像仪器探测系统中的一个关键部件，对进入空间相机及其他成像仪器探测系统的光进行分光作用。焦平面技术代表着目前成像系统的发展方向，其主要采用集成探测器阵列技术把多个谱段滤光片集中在一个平面上，因此在分光系统中需对光按照可见、近红外、短中波和长波红外这几个谱段进行分光。

由于制备满足焦平面技术的分色片的难度比传统的分色片难度大大提高，因此对所述分光片的材料以及膜系提出了更高的要求，目前尚未见在0.43～0.90μm谱段具有高反射率，在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm谱段均具有高透过率的分色片。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的之一在于提供一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片，所述分色片在0.43～0.90μm谱段具有高反射率，同时在1.55～1.75μm、2.08～2.35μm、3.50～5.50μm、7.80～10.00μm和11.08～12.55μm这多个谱段具有高透过率。

本发明的目的之二在于提供一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片的制备方法。

本发明的目的通过以下技术方案实现。

一种可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片，所述分色片包括硒化锌（ZnSe）基底和基底一侧的膜系；

膜系包括交替叠加的硫化锌（ZnS）膜层和氟化钇（YF3）膜层，结构为：（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5h）^12，中心波长为890nm；其中，h为硫化锌膜层，0.3、0.38和0.5为硫化锌膜层厚度对应基本厚度的系数，0.3h代表硫化锌膜层厚度为0.3个基本厚度，0.38h代表硫化锌膜层厚度为0.38个基本厚度，0.5h代表硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，l为氟化钇膜层，0.6、0.76和1代表氟化钇膜层厚度对应基本厚度的系数，0.6l代表氟化钇膜层厚度为0.6个基本厚度，0.76l代表氟化钇膜层厚度为0.76个基本厚度，l代表氟化钇膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一；基本膜堆（0.3h0.6l0.3h）和基本膜堆（0.38h0.76l0.38h）的周期数为10，基本膜堆（0.5hl0.5h）的周期数为12。

采用Macleod软件对所述膜系进行优化，得到优选的膜系如表1所示，其中，层数为1的膜层为膜系的最外层，层数为63的膜层沉积在硒化锌基底上，为膜系的最内层；

表1膜系