[发明专利]基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统

权利要求书

1.一种基于XML的半导体装备的工艺配方文档处理系统，其特征在于，包括：

下位机组，所述下位机组与装备的各工艺单元相连，用于接收和存储当前工艺配方，并根据当前工艺配方的参数控制各工艺单元的正常运行；

上位机，所述上位机与所述下位机组相连，用于根据工艺需求管理工艺配方文档，并可对文档进行解析，将解析后的工艺配方内容下载到下位机组中。

2.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，所述上位机还用于对已创建的工艺配方文档进行打开、编辑和保存操作。

3.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，所述下位机组包括多个下位机，每个下位机分别与所述半导体装备中的每个工艺单元相连。

4.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，所述上位机进一步包含：

OPC服务器，所述OPC服务器配置所述下位机组信息以实现所述OPC服务器与所述下位机组的通讯，其中，所述下位机组信息包括各个下位机的名称和地址；

客户端，所述客户端与所述OPC服务器通讯。基于所述客户端，工艺人员利用处理系统的图形用户界面可实时访问OPC服务器，并将工艺配方内容下载到下位机组中。如果工艺配方不变，无需重复下载。

5.根据权利要求4所述的处理系统，其特征在于，所述处理系统的图形用户界面包括：文档编辑子界面和文档下载子界面。其中，工艺人员登陆编辑子界面后可进行工艺配方的建立、编辑、打开和保存等操作。不同工艺单元的配方对应各自不同的编辑子界面及表格，工艺人员在编辑表格中完成参数的输入和修改。工艺人员登陆下载子界面后可进行工艺配方的下载操作。

6.根据权利要求1或2所述的处理系统，其特征在于，所述工艺配方文档为XML格式的文档，且全部保存在上位机中系统指定的文件夹下，方便工艺人员随时调取与修改工艺配方文档内容。

7.根据权利要求6所述的处理系统，其特征在于，对所述工艺配方文档进行解析时，将所述工艺配方文档解析为DOM文档对象模型，并从所述DOM文档对象模型中提取元素、属性和注释，以根据所述元素和属性得到所述工艺配方内容。

8.根据权利要求4所述的处理系统，其特征在于，所述客户端以同步的方式向所述OPC服务器进行写数据。

9.根据权利要求1所述的处理系统，其特征在于，所述上位机和所述下位机组之间通过工业以太网物理连接。