[发明专利]一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种剥离设备的剥离能力的评定方法及评定系统。

背景技术

在显示技术领域的基板构图工艺中，例如，在液晶显示器的阵列基板的制作过程中，剥离设备对阵列基板上涂覆的光刻胶的剥离能力，对阵列基板的质量有直接影响。如果当前一层材料上的光刻胶没有剥离干净产生残留或光刻胶残留值超过光刻胶残留阈值，将导致下一层涂覆的材料在残留的光刻胶处产生沉淀，形成缺陷。

剥离设备对阵列基板上光刻胶的剥离原理是，通过剥离设备的剥离液对光刻胶进行溶解，以达到剥离光刻胶的目的。剥离设备的剥离能力与剥离液的质量，以及剥离设备的设备状态等因素密切相关。在实际生产过程中，由于无法确定当前剥离设备的剥离能力，因此每次剥离设备对光刻胶剥离后，都需要对剥离光刻胶后的阵列基板进行检测，以保证没有光刻胶的残留，或光刻胶的残留值小于光刻胶的残留阈值。

因此，现有技术中没有对剥离设备剥离能力进行评定的一种方法，无法监控剥离设备的剥离能力。

发明内容

本发明实施例提供了一种剥离设备的剥离能力的评定方法，以解决现有技术中没有对剥离设备剥离能力进行评定的一种方法，无法监控剥离设备的剥离能力的问题。

本发明实施例提供了一种剥离设备的剥离能力的评定方法，该方法包括：

利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理，其中所述测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同；

对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测，根据剥离效果检测结果，以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系，确定所述剥离设备的剥离能力等级。

本发明实施例提供了一种剥离设备的剥离能力评定系统，该系统包括：光刻胶剥离模块和评定模块；

所述光刻胶剥离模块，用于利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理，其中所述测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同；

所述评定模块，用于对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测；根据剥离效果检测结果，以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系，确定所述剥离设备的剥离能力等级。

本发明采用利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理，其中测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同；对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测，根据剥离效果检测结果，以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系，确定剥离设备的剥离能力等级；避免了现有技术中无法监控剥离设备的剥离能力的问题，确定不同剥离设备的剥离能力，对剥离设备的剥离能力进行评定，确定剥离设备的剥离能力是否发生变化，对剥离设备的剥离能力进行监控。

附图说明

图1为本发明实施例中一种剥离设备的剥离能力的评定方法的流程示意图；

图2为本发明实施例中金属板材的金属光栅的示意图；

图3为本发明实施例中含有金属光栅的金属板材示意图；

图4为本发明实施例中制作测试块时各设备的位置示意图；

图5为本发明实施例中剥离设备的剥离能力的评定方法的在实际生产中的应用的流程示意图；

图6a为本发明实施例中一种剥离设备的剥离能力评定系统的示意图；

图6b为本发明实施例中一种剥离设备的剥离能力评定系统的具体示意图。

具体实施方式

本发明采用利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理，其中测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同；对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测，根据剥离效果检测结果，以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系，确定剥离设备的剥离能力等级；避免了现有技术中无法监控剥离设备的剥离能力的问题，确定不同剥离设备的剥离能力，对剥离设备的剥离能力进行评定，确定剥离设备的剥离能力是否发生变化，对剥离设备的剥离能力进行监控。

下面结合说明书附图对本发明实施例作进一步详细描述。

如图1所示，为本发明实施例中一种剥离设备的剥离能力的评定方法，该方法包括：

步骤101：利用剥离设备对涂覆有光刻胶的测试块进行光刻胶剥离处理，其中测试块上涂覆的光刻胶的固化程度值不同；

步骤102：对经过剥离处理后的测试块进行剥离效果检测，根据剥离效果检测结果，以及光刻胶固化程度值、剥离能力等级之间的对应关系，确定所述剥离设备的剥离能力等级。