[发明专利]一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法

权利要求书

1.一种高通量大口径光学引导与检测装置，包括装置壳体(7)，装置壳体(7)为一空心具有若干法兰口的薄板组成的壳体，装置壳体(7)下端法兰连接取样法兰组件(1)，取样法兰组件(1)的取样法兰(11)为一直角三菱形壳体，直角边有法兰连接装置壳体(7)，直角边法兰内连接真空隔离窗口(12)及窗口压板(13)，取样法兰(11)的直角三菱形壳体的斜边有法兰口；装置壳体(7)连接取样法兰组件(1)的法兰上面有与该法兰平行的上下两个滑道，滑道内安装有屏蔽衰减组件(6)，装置壳体(7)的一个侧板在两个滑道之间开有长方形孔，屏蔽衰减组件(6)通过锁紧螺母及挡块(61)与装置壳体(7)固定，屏蔽衰减组件(6)由框体(63)和框体(63)内固定的衰减片(64)和框体(63)外侧的拉手(62)组成；

在屏蔽衰减组件(6)外侧，装置壳体(7)连接光束测量组件(2)的光电管座(24)，光电管座(24)中心连接有光电管(22)，光电管座(24)尾部通过屏蔽罩调整螺栓(23)连接屏蔽罩(21)，装置壳体(7)顶部有方形法兰连接光束能量测量组件(3)的卡计罩(32)，卡计罩(32)内固定有长方体形能量卡计(31)；

装置壳体(7)内腔体中部两侧板通过半透射镜轴承(41)连接半透射镜组件(4)的半透射镜(42)，装置壳体(7)内腔的底板和后面板上的轴承座通过反射镜轴承(51)连接反射镜组件(5)的反射镜(52)，反射镜(52)平面与取样法兰组件(1)的真空隔离窗口(12)平面形成夹角b(9)，反射镜(52)平面与半透射镜(42)平面形成夹角a(8)，衰减屏蔽组件(6)的衰减片(64)平面与光电管座(24)主体截面呈夹角c(10)。

2.根据权利要求1所述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其特征在于：半透射组件(4)的半透射镜(42)的上下端面与俯仰调整螺栓(43)接触，俯仰调整螺栓(43)与装置壳体(7)螺纹连接，俯仰调整螺栓(43)与装置壳体(7)之间有锁紧螺母。

3.根据权利要求1所述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其特征在于：反射镜组件(5)的反射镜(52)左右两侧中心位置的背面与两个偏摆调整螺栓(53)接触，偏摆调整螺栓(53)与装置壳体(7)螺纹连接，偏摆调整螺栓(53)与装置壳体(7)之间有锁紧螺母。

4.根据权利要求1所述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其特征在于：夹角a(8)的角度是95°，夹角b(9)的角度是45°，夹角c(10)的角度是10°，能量卡计(31)平面与半透射镜(42)平面平行。

5.根据权利要求1所述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其特征在于：反射镜(52)为不透明的镜面体，半透射镜(42)为半透明镜面体。

6.根据权利要求1所述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其特征在于：其光路调整方法为：

松开俯仰调整螺栓(43)的锁紧螺母，调整上下两个俯仰调整螺栓(43)至指定位置，锁紧俯仰调整螺栓(43)的锁紧螺母；

松开左右两个偏摆调整螺栓(53)的锁紧螺母，调整左右两个偏摆调整螺栓(53)至指定位置，锁紧偏摆调整螺栓(53)的锁紧螺母。