[发明专利]一种高通量大口径光学引导与检测装置及其光路调整方法

说明书

技术领域：

本发明涉及一种高通量大口径光学聚焦与频率转换装置，具体涉及一种高通量大口径光学引导与检测装置。

背景技术：

光路引导与检测装置用于高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中在有限的空间内完成取样光路的引导与光束能量、波形的检测，同时完成光学取样模块和光路调整与检测模块之间真空隔离，并且实现屏蔽衰减组件的快速在线更换，使得光束检测装置在系统运行过程中免受损坏。目前尚无成熟的装置实现高通量大口径光学引导与检测的装置。

发明内容：

本发明的目的是为了实现高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中光路引导与检测问题，进而提供一种高通量大口径光学光路引导与检测装置。

本发明的技术方案是：一种高通量大口径光学引导与检测装置，包括装置壳体，装置壳体为一空心具有若干法兰口的薄板组成的壳体，装置壳体下端法兰连接取样法兰组件，取样法兰组件的取样法兰为一直角三菱形壳体，直角边有法兰连接装置壳体，直角边法兰内连接真空隔离窗口及窗口压板，取样法兰的直角三菱形壳体的斜边有法兰口；装置壳体连接取样法兰组件的法兰上面有与该法兰平行的上下两个滑道，滑道内安装有屏蔽衰减组件，装置壳体的一个侧板在两个滑道之间开有长方形孔，屏蔽衰减组件通过锁紧螺母及挡块与装置壳体固定，屏蔽衰减组件由框体和框体内固定的衰减片和框体外侧的拉手组成；

在屏蔽衰减组件外侧，装置壳体连接光束测量组件的光电管座，光电管座中心连接有光电管，光电管座尾部通过屏蔽罩调整螺栓连接屏蔽罩，装置壳体顶部有方形法兰连接光束能量测量组件的卡计罩，卡计罩内固定有长方体形能量卡计；

装置壳体内腔体中部两侧板通过半透射镜轴承连接半透射镜组件的半透射镜，装置壳体内腔的底板和后面板上的轴承座通过反射镜轴承连接反射镜组件的反射镜，反射镜平面与取样法兰组件的真空隔离窗口平面形成夹角b，反射镜平面与半透射镜平面形成夹角a，衰减屏蔽组件的衰减片平面与光电管座主体截面呈夹角c,能量卡计平面与半透射镜平面平行。

上述方案中，反射镜为不透明的镜面体，半透射镜为半透明镜面体。

上述方案中，半透射组件的半透射镜的上下端面与俯仰调整螺栓接触，俯仰调整螺栓与装置壳体螺纹连接，俯仰调整螺栓与装置壳体之间有锁紧螺母。

上述方案中，反射镜组件的反射镜左右两侧中心位置的背面与两个偏摆调整螺栓接触，偏摆调整螺栓与装置壳体螺纹连接，偏摆调整螺栓与装置壳体之间有锁紧螺母。

上述方案中，夹角a的角度是95°，夹角b的角度是45°，夹角c的角度是10°。

上述的一种高通量大口径光学引导与检测装置，其光路调整方法为：

松开俯仰调整螺栓的锁紧螺母，调整俯上下两个仰调整螺栓至指定位置，锁紧俯仰调整螺栓的锁紧螺母；

松开左右两个偏摆调整螺栓的锁紧螺母，调整左右两个偏摆调整螺栓至指定位置，锁紧偏摆调整螺栓的锁紧螺母。

本发明具有如下有益效果：在高通量大口径光学聚焦与频率转换系统中，对取样光束的测量分别通过能量卡计、光电管实现对取样光束的能量和波形的测量，由于光学聚焦频率转换系统中存在大量的物理诊断设备，因重力负荷引起的变形的可预测性较低，加上抽真空变形的影响，安装精度是一个无法确定的影响因素，只能通过现场试安装后的实际测试对取样光路进行修正，确保能量卡计迎光面的面积在可控范围内，同时光电管能够对取样光束进行采样分析。

附图说明：

附图1是本发明的立体结构示意图；

附图2是本发明的没安装件1的透视轴测图；

附图3是本发明的外观轴测图；

附图4是本发明件6的轴测图。

图中1，取样法兰组件；11，取样法兰；12，真空隔离窗口；13，窗口压板；2，光束测量组件；21，屏蔽罩；22，光电管；23，屏蔽罩调整螺栓；24，光电管座；3，光束能量测量组件；31，能量卡计；32，卡计罩；4，半透射镜组件；41，半透射镜轴承；42，半透射镜；43，俯仰调整螺栓；5，反射镜组件；51反射镜轴承；52反射镜；53，偏摆调整螺栓；6，屏蔽衰减组件；61，锁紧螺母及挡块；62，拉手；63，框体；64，衰减片；7，装置壳体；8，夹角a；9，夹角b；10，夹角c。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明作进一步说明：