[发明专利]取向膜的固化与冷却装置、取向膜的固化与冷却方法

权利要求书

1.一种取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，包括：加热装置和通过管道与加热装置相连的气流装置；能对所述取向膜进行固化以及冷却降温处理的主体装置；

所述主体装置的一端通过管道与加热装置相连，另一端设置有气流出口、基板进口和基板出口，形成有取向膜的基板通过基板进口进入主体装置，形成有取向膜的基板通过基板出口离开主体装置。

2.根据权利要求1所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述主体装置内部包括第一腔室和第二腔室，所述第一腔室和第二腔室通过一隔板隔开。

3.根据权利要求2所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述隔板的一端与主体装置的底部相连，另一端与所述主体装置的顶部形成能容纳基板水平通过的间隙。

4.根据权利要求1-3任一项所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述主体装置的顶部与底部分别设置有通风板，所述通风板上设置有多个小孔。

5.根据权利要求1-3任一项所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述主体装置的顶部、底部和中间位置各设置有至少一个温度感应装置。

6.根据权利要求1-3任一项所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述装置还包括设置于主体装置的底部与气流装置之间的干燥器，以脱除取向膜的固化过程中释放出的水蒸气；所述干燥器通过管道与主体装置的底部相连。

7.根据权利要求6所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述装置还包括吸附装置，以吸附流动气体中含有的有机溶剂；所述吸附装置的一端通过管道与干燥器相连，另一端通过管道与所述气流装置相连。

8.根据权利要求7所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述装置还包括过滤部件，以对取向膜的固化与冷却阶段产生的杂质进行过滤；所述过滤部件通过管道连接于气流装置和所述吸附装置之间。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的取向膜的固化与冷却装置，其特征在于，所述气流装置和加热装置之间还设置有气体补充装置。

10.一种取向膜的固化与冷却方法，其特征在于，采用权利要求1-9中任一项所述的取向膜的固化与冷却装置，该方法包括：

将热气流从所述主体装置的一端传入主体装置内，从所述主体装置的另一端传出；

取向膜的固化阶段，形成有取向膜的基板进入主体装置后，在主体装置内沿着与热气流的流动方向相反的方向移动使所述取向膜逐步固化；

取向膜冷却降温阶段，形成有取向膜的基板在主体装置内沿着与热气流的流动方向相同的方向移动。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述取向膜的固化阶段和冷却降温阶段分别在所述主体装置的第二腔室和第一腔室进行的。