[发明专利]电润湿显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201310159804.1 | 申请日: | 2013-05-03 |
公开(公告)号: | CN103472578B | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 朴大真;卢正训;李甫览;金晙烨;申东和 | 申请(专利权)人: | 利奎阿维斯塔股份有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 润湿 显示装置 及其 制造 方法 | ||
该申请要求于2012年6月5日提交的第10-2012-0060573号韩国专利申请的优先权,该韩国专利申请的内容通过引用包含于此。
技术领域
本公开涉及一种利用电润湿效应的电润湿显示装置和一种制造该电润湿显示装置的方法。
背景技术
广泛地使用各种平板显示器,例如,液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)显示器、有机发光显示器(OLED)、场效应显示器(FED)、电泳显示器(EPD)或电润湿显示器(EWD)。
电润湿显示器向水溶液液体电解质提供电压,以改变水溶液液体电解质的表面张力并且反射或透射来自外部光源的光,从而显示图像。
发明内容
本公开的实施例提供了一种具有增强的显示品质的电润湿显示装置和一种具有简化的制造工艺、减少的制造时间和成本及增强的显示品质的制造该电润湿显示装置的方法。
本发明构思的示例性实施例提供了一种电润湿显示装置,其包括:基体基板;电润湿层,在像素区域中,包括第一流体和与第一流体不混溶的第二流体;壁,位于基体基板上以划分像素区域并限制第一流体和第二流体中的至少一种的流动范围;疏水层,位于像素区域中;电子器件,被构造为向电润湿层施加电场,以控制电润湿层。第二流体具有电导性或极性。壁包括基本平行于基体基板的顶表面和将基体基板与顶表面连接的侧表面。疏水层覆盖壁的侧表面和基体基板。
本发明构思的示例性实施例提供了一种电润湿显示装置,其通过下述步骤制造:在基体基板上形成用于限定像素区域的壁;形成覆盖基体基板的顶表面和壁的侧表面且暴露壁的顶表面的疏水层;在像素区域中形成电润湿层;形成被构造为控制电润湿层的电子器件。
疏水层通过下述步骤形成:在形成有壁的基体基板上形成预疏水层;使壁收缩,以使预疏水层的一部分与壁分离;去除预疏水层的分离部分,以使壁的顶表面暴露。
当形成疏水层时,在使壁收缩之前,可以向预疏水层照射UV线,以在预疏水层中形成裂纹。
壁可以通过下述步骤形成:在基体基板上涂覆有机材料,以形成有机层;在有机层上形成牺牲图案;利用牺牲图案作为掩模将有机层图案化。牺牲图案可以包括负型光致抗蚀剂、正型光致抗蚀剂或金属。当牺牲图案包括负型光致抗蚀剂或金属时,在剖视图中,牺牲图案可以包括宽度比壁的宽度大的顶表面和宽度与壁的宽度相同的底表面。当牺牲图案包括正型光致抗蚀剂时,在剖视图中,牺牲图案可以包括宽度比壁的宽度大的底表面和宽度比牺牲图案的底表面的宽度小的顶表面。疏水层可以通过下述步骤形成:在形成有牺牲图案的基体基板上形成预疏水层;剥离牺牲图案和牺牲图案上的预疏水层,以使壁的顶表面暴露。
根据实施例,提供了一种制造电润湿显示器的方法,该方法包括:在基体基板的表面上形成壁;在基体基板的表面和壁上形成疏水层;从壁的顶表面去除疏水层。
从壁的顶表面去除疏水层的步骤可以包括:利用预定波长的紫外(UV)线照射壁;使壁收缩;洗掉壁的顶表面的疏水层。
在基体基板的表面上形成壁的步骤可以包括:在基体基板的表面上顺序地形成有机层和牺牲层;将有机层和牺牲层图案化,以形成壁和牺牲图案。
将有机层和牺牲层图案化的步骤可以包括同时蚀刻有机层和牺牲层。
在基体基板的表面上形成壁的步骤可以包括:在基体基板的表面上顺序地形成有机层和牺牲层;分别对牺牲层和有机层顺序地执行光刻和蚀刻。
从壁的顶表面去除疏水层的步骤可以包括从壁的顶表面剥离牺牲图案和疏水层。
附图说明
通过参照以下结合附图考虑时的详细描述,本发明的实施例将变得容易理解,其中:
图1是示出了根据本发明实施例的电润湿显示装置的一部分的剖视图;
图2是示出了包括在图1中示出的电润湿显示装置中的像素的等效电路图;
图3是示出了图1中示出的电润湿显示装置的平面图;
图4是沿着图3中示出的I-I'线截取的剖视图;
图5是示出了制造图1中示出的电润湿显示装置的方法的流程图;
图6A至图6G是示出了制造图1中示出的电润湿显示装置的方法的剖视图;
图7A和图7B是示出了在向预疏水层照射UV之后的预疏水层的扫描电子显微镜(SEM)照片;
图8是示出了制造图1中示出的电润湿显示装置的方法的流程图;
图9A至图9G是示出了图8中示出的制造电润湿显示装置的方法的剖视图;
图10A至图10G是示出了制造图1中示出的电润湿显示装置的方法的剖视图。
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