[发明专利]避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺

权利要求书

1.一种避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，其特征在于，包括如下步骤：

1）装料：将硅料装入石英坩埚内；

2）热系统加热化料：

先是石英坩埚加热软化阶段：分为3-6个温度递增的加热软化阶段，每个加热软化阶段的功率为25-80KW，加热时间为20-80分钟；

然后是硅料加热融化阶段：功率为70-105KW，加热时间为60-180分钟。

2.如权利要求1所述的避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，其特征在于：所述的装料步骤中，装料时在石英坩埚液位线以下的块料和埚壁采取面接触，液位线以上的块料采取点接触。

3.如权利要求1所述的避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，其特征在于：所述的步骤2）中的热系统为18寸热系统，先是石英坩埚加热软化阶段：第一阶段：石英坩埚先30KW加热30分钟；第二阶段：升到45KW加热60分钟；第三阶段：升到60KW加热60分钟；第四阶段：升到70KW加热60分钟；

然后是硅料加热融化阶段：升到95KW加热90-120分钟到硅料完全融化。

4.如权利要求1所述的避免直拉法石英坩埚渗硅的硅料融化加热工艺，其特征在于：所述的步骤2）中的热系统为20寸热系统，先是石英坩埚加热软化阶段：第一阶段：石英坩埚先30KW加热30分钟，第二阶段：升到45KW加热60分钟；第三阶段：升到60KW加热60分钟；第四阶段：升到70KW加热60分钟；第五阶段：升到80KW加热150分钟。

然后是硅料加热融化阶段：升到100KW加热120-150分钟到硅料完全融化。