[发明专利]半导体设备的工艺任务处理方法及系统

权利要求书

1.一种半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

在工艺任务处理过程中，上位机接收用户的工艺表单编辑指令后，在线读取原工艺表单；

对所述原工艺表单中的内容进行解析，检测出所述原工艺表单中需要修改的指定步数，并判断所述原工艺表单中所述需要修改的指定步数是否未执行；

在判断出所述原工艺表单中的需要修改的指定步数未执行后，修改所述原工艺表单中的指定步数的指定参数；

将修改所述指定参数后的工艺表单作为新工艺表单发送给相应的下位机，控制所述下位机根据修改后的所述新工艺表单，将各个工艺参数分发下放到设备的各个部件中，各个部件根据所述新工艺表单进行工艺任务处理。

2.根据权利要求1所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，所述对原工艺表单中的内容进行解析，检测出所述原工艺表单中需要修改的指定步数，包括以下步骤：

若检测所述原工艺表单中没有需要修改的指定步数，则结束任务返回；

所述判断所述原工艺表单中所述需要修改的指定步数是否执行之后，还包括以下步骤：

若判断所述原工艺表单中的指定步数已经执行或者正在执行，则结束任务返回。

3.根据权利要求1所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，对所述原工艺表单中的内容进行解析，检测出所述原工艺表单中需要修改的指定步数之后，在判断所述原工艺表单中的指定步数是否执行之前，还包括以下步骤：

根据预设的提前锁定时间，将半导体设备的工艺任务处理正在执行的步数的参数锁定。

4.根据权利要求1所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，在判断出所述原工艺表单中的需要修改的指定步数未执行后，修改所述原工艺表单中的指定步数的指定参数，包括以下步骤：

修改工艺表单编辑界面参数项的值，激活内容改变事件，将内容改变事件与处理动作关联；

所述上位机读取所述指定步数的指定参数的函数接口；

通过所述函数接口，修改所述指定步数的指定参数的值。

5.根据权利要求4所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，所述函数接口为：

ModifyRecipePara(unsigned int stepId,unsigned int paramId,const string &value)

所述上位机通过所述函数接口，修改指定的stepId步中第paramId个参数的值value。

6.根据权利要求1所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，还包括以下步骤：

所述下位机以共享的方式读取所述新工艺表单中的步数和参数信息，同时以二维数组recipeTable[stepID][paraID]的形式保存在所述下位机的内存中。

7.根据权利要求6所述的半导体设备的工艺任务处理方法，其特征在于，还包括以下步骤：

所述下位机以事件订阅的方式监视所述上位机中对原工艺表单中未执行步中的参数的调整。

8.一种半导体设备的工艺任务处理系统，包括上位机和下位机，其特征在于，所述上位机包括读取模块、检测判断模块、编辑模块及执行模块；

所述读取模块，用于在工艺任务处理过程中，上位机接收用户的工艺表单编辑指令后，在线读取原工艺表单；

所述检测判断模块，用于对所述原工艺表单中的内容进行解析，检测出所述原工艺表单中需要修改的指定步数，并判断所述原工艺表单中所述需要修改的指定步数是否未执行；

所述编辑模块，用于在判断出所述原工艺表单中的需要修改的指定步数未执行后，修改所述原工艺表单中的指定步数的指定参数；

所述执行模块，用于将修改所述指定参数后的工艺表单作为新工艺表单发送给相应的下位机，控制所述下位机根据修改后的所述新工艺表单，将各个工艺参数分发下放到设备的各个部件中，各个部件根据所述新工艺表单进行工艺任务处理。