[发明专利]元件或基板的作业装置和元件安装装置

权利要求书

1.一种元件或基板的作业装置，具备：

头单元，包含第一摄像部、第二摄像部以及作业机构部，该作业机构部在俯视图中配置于通过所述第一摄像部和所述第二摄像部的各自中心的直线上以外的位置；以及

控制部，进行使所述头单元在水平面内移动的控制，

其中，所述控制部被构成为进行以下控制：在使所述头单元移动时根据所述第一摄像部的中心偏移和所述第二摄像部的中心偏移来算出所述头单元的水平面内的旋转角度，并且根据因所述旋转角度而产生的所述作业机构部的中心的旋转因素偏移量、所述作业机构部的中心的不缘于旋转的水平面内的第一方向上的第一偏移量和与所述第一方向正交的第二方向上的第二偏移量来校正所述作业机构部的中心位置。

2.如权利要求1所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为进行以下控制：在使用所述头单元进行与元件或基板有关的作业时根据所述头单元的水平面内的所述旋转角度、所述旋转因素偏移量以及所述作业机构部的中心的不缘于旋转的所述第一偏移量和所述第二偏移量来校正所述作业机构部的中心位置并使所述头单元移动。

3.如权利要求2所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为进行以下控制：在每次对各个所述元件进行单一作业或对各个所述基板进行单一作业时根据所述头单元的水平面内的所述旋转角度、所述旋转因素偏移量以及所述作业机构部的中心的不缘于旋转的所述第一偏移量和所述第二偏移量来校正所述作业机构部的中心位置并使所述头单元移动。

4.如权利要求2所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为：根据所述头单元的水平面内的所述旋转角度、所述旋转因素偏移量以及所述作业机构部的中心的不缘于旋转的所述第一偏移量和所述第二偏移量来进行校正所述作业机构部的中心位置的运算处理并进行使所述头单元移动的控制。

5.如权利要求1所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述旋转因素偏移量包含：

基于所述旋转角度以及所述作业机构部的中心位置与所述第一摄像部或所述第二摄像部的中心位置的所述第一方向上的距离和所述第二方向上的距离而产生的所述作业机构部的中心位置的所述第一方向上的第一旋转因素偏移量；以及

基于所述旋转角度以及所述作业机构部的中心位置与所述第一摄像部或所述第二摄像部的中心位置的所述第一方向上的距离和所述第二方向上的距离而产生的所述作业机构部的中心位置的所述第二方向上的第二旋转因素偏移量，

所述控制部被构成为进行以下控制：根据基于所述第一旋转因素偏移量和所述第一偏移量的所述作业机构部的中心位置的所述第一方向上的第一校正量以及基于所述第二旋转因素偏移量和所述第二偏移量的所述作业机构部的中心位置的所述第二方向上的第二校正量来校正所述作业机构部的中心位置。

6.如权利要求5所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述第一校正量是所述第一旋转因素偏移量和所述第一偏移量之和，

所述第二校正量是所述第二旋转因素偏移量和所述第二偏移量之和。

7.如权利要求5所述的元件或基板的作业装置，其中，

所述控制部被构成为进行以下控制：在使所述头单元移动时使所述作业机构部的中心位置移动到从所述作业机构部的中心位置的理论位置坐标分别减去所述第一方向上的所述第一校正量和所述第二方向上的所述第二校正量所得到的位置坐标。

8.如权利要求1所述的元件或基板的作业装置，其中，

还具备能够分别参照使所述头单元在水平面内移动时的所述第一摄像部的中心和所述第二摄像部的中心各自实际位置坐标相对于理论位置坐标的偏移量的校正表，

所述控制部被构成为进行以下控制：在使所述头单元移动时根据基于所述校正表所掌握的所述第一摄像部的中心偏移和所述第二摄像部的中心偏移来算出所述头单元的水平面内的旋转角度，并且根据因所述旋转角度而产生的所述作业机构部的中心的旋转因素偏移量以及所述作业机构部的中心的不缘于旋转的所述第一偏移量和所述第二偏移量来校正所述作业机构部的中心位置。