[发明专利]元件或基板的作业装置和元件安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种元件或基板的作业装置和元件安装装置，特别是涉及具备包含摄像部的头单元的元件或基板的作业装置和元件安装装置。

背景技术

以往已知具备包含摄像部的头单元的元件安装装置等。例如日本特开2005－347555号公报公开有这样的元件安装装置。

日本特开2005－347555号公报中公开了一种元件安装装置，其具备包含两台相机（摄像部）和配置在该相机之间的元件吸嘴（作业机构部）并能够移动到基板上的任意位置的元件安装头的元件安装装置。该元件安装装置的元件安装头中，相机间的元件吸嘴配置在通过两台相机中心的直线（X轴）上，使用两台相机能够掌握基板面（X-Y平面）内元件安装头相对于X轴的旋转角度（偏转值）。这种情况下，根据从相机中心到元件吸嘴的水平距离和元件安装头的旋转角度来求得元件吸嘴从X轴偏移的偏移量（Y方向位移）。由此，即使支承元件安装头的X轴和Y轴架变形，也可将因变形产生的元件安装头的旋转角度相应的偏移量考虑在内而使元件安装头移动，所以元件吸嘴能够精度良好地移动到元件安装位置。

在日本特开2005－347555号公报记载的元件安装装置中的元件安装头中，在通过两台相机中心的直线（X轴）上配置有元件吸嘴，所以根据相机-元件吸嘴中心间距离和元件安装头的旋转角度容易掌握元件吸嘴的偏移量（Y方向位移）。但是，例如元件吸嘴从通过两台相机中心的直线偏离地配置的元件安装头中，原封不动地适用上述的方式难以掌握元件吸嘴的偏移量。因此，在日本特开2005－347555号公报的结构中，存在这样的问题：在通过摄像部中心间的直线上未配置元件吸嘴（作业机构部）的元件安装头的情况下，不能精度良好地将元件吸嘴（作业机构部）移动到元件安装位置（作业位置）。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的之一在于提供一种元件或基板的作业装置和元件安装装置，即使在通过摄像部中心间的直线上未配置有作业机构部的情况下也能够使作业机构部精度良好地移动到作业位置。

为了实现上述目的，本发明第一方面的元件或基板的作业装置具备：头单元，包含第一摄像部、第二摄像部以及在俯视图中配置于通过第一摄像部和第二摄像部的各自中心的直线上以外的位置的作业机构部；以及控制部，进行使头单元在水平面内移动的控制，其中，控制部被构成为进行以下控制：在使头单元移动时根据第一摄像部的中心偏移和第二摄像部的中心偏移来算出头单元的水平面内的旋转角度，并且根据因旋转角度而产生的作业机构部的中心的旋转因素偏移量、以及作业机构部的中心的不缘于旋转的水平面内的第一方向上的第一偏移量和与第一方向正交的第二方向上的第二偏移量来校正作业机构部的中心位置。

在本发明第一方面的元件或基板的作业装置中，如上所述，将控制部构成为进行以下控制：使头单元移动时根据第一摄像部的中心偏移和第二摄像部的中心偏移来算出头单元的水平面内的旋转角度并且根据缘于旋转角度的作业机构部的中心的旋转因素偏移量、以及作业机构部的中心的不缘于旋转的水平面内的第一方向上的第一偏移量和与第一方向正交的第二方向上的第二偏移量来校正作业机构部的中心位置，由此即使是在通过第一摄像部和第二摄像部各自的中心的直线上未配置作业机构部的头单元，也能够使用头单元的旋转角度以及不缘于旋转的第一方向的第一偏移量和第二方向的第二偏移量，在移动头单元时适当校正作业机构部的中心位置。由此，能够将作业机构部精度良好地移动到与元件或基板有关的作业位置。

上述第一方面的元件或基板的作业装置中，优选地，控制部被构成为进行以下控制：在使用头单元进行与元件或基板有关的作业时根据头单元的水平面内的旋转角度、旋转因素偏移量以及作业机构部的中心的不缘于旋转的第一偏移量和第二偏移量来校正作业机构部的中心位置并使头单元移动。若如此构成，则控制部只要在进行元件或基板有关的作业时每次都运算作业机构部的中心位置的校正量即可。由此，例如，与覆盖水平面内的全部区域的方式矩阵式地求取与庞大数量作业位置对应的作业机构部的中心位置的校正量并在作业装置侧作为数据预先准备（存储）的情况相比较，不需要保持这样庞大的数据，相应地能够显著减少作业装置侧的数据保有量。